如何最大限度地利用晶圆加热功能
在处理半导体晶圆时，绝不能让任何杂质进入其中。因此，无臭氧的红外灯才是最佳选择。不过，这里有个秘诀：灯光本身只是解决问题的一半而已。真正关键的是如何有效地传递那些光子。
为何选择黄金作为反射材料
大多数人最初会选择铝制反射器，但铝会吸收大量能量，这无疑是一种浪费。我们则选择高纯度的黄金作为反射材料。因为黄金能够很好地反射近红外光。这样，热量就不会散失到灯壳中，而是直接照射到晶圆上。这样一来，每消耗一瓦特的能量，就能产生更强的热效应。如此一来，加热效率更高，升温速度也更快。
聚焦于表面加热
在这个领域里，如果加热不均匀，那就意味着整个系统出了问题。黄金涂层反射器可以将分散的光线集中起来，从而缩小加热装置的尺寸，同时保持较高的热密度。我们确保每一瓦特的能量都能有效用于加热硅晶圆，而不是周围的空气。
现实中的权衡
当然，也有其缺点。黄金的价格并不便宜，因此使用黄金反射器的初始成本会比使用铝制反射器高。不过，从长远来看，这种方式可以降低能耗并加快加工速度，所以通常来说是值得的。另外，还需要注意冷却系统的问题。由于黄金反射器会将大量能量集中在晶圆上，因此灯的散热方式也会发生变化。如果冷却系统无法应对这种变化，那么灯丝很快就会烧坏。只要保持稳定的气流，灯就能正常工作。