스마트 센서 패키징 적외선
센서 포장 과정에서 발생하는 열 낭비를 막으세요.
스마트 센서용 웨이퍼를 가열하거나 조리하는 데 시간을 보낸 적이 있다면 그 고통스러움을 잘 알 것입니다. 기계에 많은 에너지가 공급되지만, 그 에너지의 상당 부분이 낭비됩니다. 그 에너지는 기계의 하우징 속으로 새어나...
웨이퍼 처리 장비용 온도 센서
웨이퍼 제조 공정에서 IR 가열 및 센싱 기술을 올바르게 활용하는 방법
현재는 반도체 제조 장비를 더욱 친환경적으로 만들려는 노력이 활발합니다. 이를 위해 우리는 기존의 저항식 가열 방식을 버리고 단파 적외선(IR)을 활용하고 있습니다.
가장 큰 장점은 웨이퍼 표면을...
MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
건조 과정에서 MEMS 웨이퍼를 항상 깨끗하게 유지하는 방법
만약 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 가스가 발생하거나 원치 않는 불순물들이 생기는 문제를 잘 알고 있을 것입니다. 이러한 문제는 보통 건조 단계에서 발생합니다. 일반적인 히터들은 이러한 상황에...
수소 센서 제작용 히터
폭발 없이 열을 발생시키는 방법
수소 센서를 제작할 때는 상당한 열이 필요하지만, 문제가 있습니다. 휘발성 화학 물질이 있는 곳에서 작업할 때는 그 열이 위험 요소가 됩니다. 잘못된 스파크나 너무 높은 온도가 발생하면 즉시 화재가 발생할 수 있습니다. 이건 누구도 원...
웨이퍼용 고정밀 IR 센서
클래스 100 등급의 청정실에서 작업할 때는 “거의 깨끗하다”는 수준으로는 충분하지 않습니다. 히팅 요소에서 나오는 아주 작은 불순물 하나만 있어도, 그로 인해 생산된 웨이퍼들은 모두 폐기해야 합니다. 정말 끔찍한 상황입니다.
그래서 우리는 적외선 램프에 일반 유리를...