양자점 제조용 히터

라인에서 온도는 조절 가능한 다이얼이 아니라 엄격한 경계선이다. 양자점(QD) 제조에서 포토레지스트 처리, 어닐링, QD 층 형성 시의 열 예산은 라인폭 제어, 결함 밀도, 수율을 결정한다. 웨이퍼 전체에 걸쳐 몇 도의 온도 편차, 베이크 반응 지연, 클린룸 공기 중...