클래스 100 등급의 청정실에서 작업할 때는 “거의 깨끗하다”는 수준으로는 충분하지 않습니다. 히팅 요소에서 나오는 아주 작은 불순물 하나만 있어도, 그로 인해 생산된 웨이퍼들은 모두 폐기해야 합니다. 정말 끔찍한 상황입니다.
그래서 우리는 적외선 램프에 일반 유리를 사용하는 것을 중단했습니다. 일반 유리에는 열에 견딜 수 없는 불순물들이 있어서, 이러한 불순물들이 분해되면서 문제가 생깁니다. 대신 고순도의 합성 석영을 사용합니다. 이렇게 하면 램프가 안정적으로 작동하며 깨끗한 상태를 유지할 수 있습니다.
더 이상의 미스터리한 가스는 없습니다 대부분의 적외선 램프는 열이 가해지자마자 가스를 방출합니다. 우리는 그런 불필요한 요소들을 모두 제거했습니다.
고순도 석영을 사용하기 때문에 표면이 안정적으로 유지됩니다. 웨이퍼 위에 잡다한 화학물질이 닿는 것을 걱정할 필요가 없습니다. 게다가 우리는 밀폐 과정에도 많은 신경을 씁니다. 텅스텐 필라멘트가 산소와 접촉하지 않도록 하여 램프가 흐려지는 것을 방지합니다. 램프가 맑은 상태를 유지한다면 적외선 효율도 높아집니다. 간단합니다.
열을正しい 곳에 전달하기 이 램프들은 매우 빠르게 열을 발생시킵니다. 짧은 파장의 적외선을 사용함으로써, 열이 웨이퍼 자체로 전달되도록 합니다. 그렇게 하면 온도 조절이 훨씬 더 정확해집니다.
단, 이러한 높은 열 밀도는 위험할 수 있습니다. 램프를 설치할 때는 반드시 적절한 부품을 사용해야 합니다. 만약 섀시가 석영이 뜨거워질 때 발생하는 팽창을 견디지 못한다면, 램프의 끝부분에 과도한 압력이 가해질 수 있습니다.
설치가 간편합니다 이 램프들은 그냥 바로 교체할 수 있도록 설계되었습니다. 복잡한 과정이 필요 없습니다. 또한, 램프의 크기가 작아서 먼지가 숨을 곳이 없습니다.
높은 품질의 재료를 사용하기 때문에, 석영에 갈색 변색이 생기는 경우도 거의 없습니다. 이게 가장 좋은 점입니다. 램프를 자주 교체할 필요가 없으므로, 청정실의 밀폐 상태도 유지됩니다.
마지막으로, 전원 공급 장치를 잘 확인해야 합니다. 전압이 안정적인지 확인해야 합니다. 약간의 전압 변동만으로도 필라멘트가 손상될 수 있습니다.