오존이 없는 적외선 램프

웨이퍼 가열 효율을 극대화하는 방법 반도체 웨이퍼를 다룰 때는 공기 중의 불순물들이 방해가 되어서는 안 됩니다. 그래서 오존이 없는 IR 램프가 사용됩니다. 하지만 여기에는 비밀이 있습니다. 램프 자체만으로는 충분하지 않습니다. 진짜 중요한 것은 그 광자들을 어떻게...