유연 전자기기 웨이퍼 히터

라인에서 유연 전자기기 웨이퍼는 열적 변동을 용납하지 않습니다. 조금이라도 드리프트되는 소프트 베이크는 다음 리소그래피 단계에서 중요한 치수를 어지럽힙니다. 너무 높은 온도로 실행되는 하드 베이크는 얇은 필름 층을 깨뜨리거나 스트레스 마이그레이션을 유발할 수 있습니다...