히터에 문제가 생겼을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 탄소나노튜브를 제조할 때는 고강도의 적외선 램프가 필요합니다. 이 램프를 사용해 정확한 온도 조절이 가능하기 때문입니다. 하지만 문제는, 고부하 환경에서 램프를 강하게 작동시킬 경우 튜브가 파손될 수 있다는 것...

반도체 제조 장비를 ‘오븐’으로 만들지 마세요 일반적인 적외선 히터는 열이 사방으로 퍼지는 단점이 있습니다. 이러한 히터들을 좁은 공간에 넣으면, 그 열은 사라지지 않고 내벽에 부딪힙니다. 결국 전체 장비가 거대한 방열판처럼 작동하게 됩니다. 그 결과, 외부 케이스가...