반도체 제조 장비를 ‘오븐’으로 만들지 마세요
일반적인 적외선 히터는 열이 사방으로 퍼지는 단점이 있습니다. 이러한 히터들을 좁은 공간에 넣으면, 그 열은 사라지지 않고 내벽에 부딪힙니다. 결국 전체 장비가 거대한 방열판처럼 작동하게 됩니다.
그 결과, 외부 케이스가 너무 뜨거워져서 만질 수 없게 되고, 전자 부품들이 손상되지 않도록 하려면 강력한 냉각 시스템이 필요해집니다. 정말 혼란스러운 상황입니다.
“오븐 효과”를 어떻게 해결할까요?
우리는 탄소 섬유 필라멘트를 사용하여 이 문제를 해결합니다.
전통적인 석영 코일은 마치 모든 방향으로 빛을 발하는 전구와 같습니다. 하지만 이 제품은 다릅니다. 필라멘트의 형태를 조절하고 반사판을 추가함으로써, 적외선 에너지를 웨이퍼나 기판 쪽으로 직접 보내줍니다.
이렇게 하면 열이 정확히 필요한 곳에 전달됩니다. 에너지가 장비 내부에서 튕겨 다니지 않으므로, 내벽도 차가운 상태를 유지할 수 있습니다.
단점도 있습니다…
방향성이 있는 램프는 빔을 더 집중시켜주지만, 그냥 쉽게 설치할 수는 없습니다. 초점 거리를 정확히 설정해야 합니다. 너무 가깝거나 멀리 설치하면, 작업물에 고른 열이 전달되지 않아 문제가 생길 수 있습니다. 만약 이러한 램프를 광각 히터가 사용되는 시스템에 설치한다면, 반드시 간격을 꼼꼼히 확인해야 합니다.
팀과 장비에 좋은 점
가장 좋은 점은, 기술자들이 장비를 검사할 때 손이 데일 일이 없다는 것입니다. 이는 실제로 장비를 직접 다루어야 하는 사람들에게 큰 도움이 됩니다.
또한 센서나 배선도 더 이상 손상되지 않습니다. 장비의 내벽이 낭비되는 열을 흡수하지 않으므로, 내부 부품들의 수명도 더 길어집니다.
열로 인해 손상된 케이블을 교체하는 데 드는 시간이 줄어들어, 실제로 생산에 투입할 수 있는 시간이 늘어납니다. 그게 전부입니다.