코터 개발자 적외선 히터

리소그래피 현장에서의 포토레지스트 베이크 포토레지스트 베이크는 선택 사항이 아니라 수율을 만드는 것과 스크랩이 쌓이는 것을 지켜보는 것 사이의 경계선입니다. 소프트 베이크 중 2°C의 편차만으로도 웨이퍼 전체에 걸쳐 CD 변동이 발생할 수 있습니다. 하드 베이크가 일...