تنظیم دمای مناسب در کارخانههای تولیدی
اگر تا به حال با فرآیند خشککردن ویفرها سروکار داشتهاید، میدانید که چقدر این کار میتواند پرچالش باشد؛ چرا که ممکن است سطح ویفر منحنی شود یا لایههای شیمیایی به طور نامتوازن روی سطح آن تشکیل شوند. مشکل اصلی این است که گرما به طور یکنواخت بر روی سطح ویفر تأثیر نمیگذارد.
به همین دلیل، از سیستمهای IR با بازتابپذیری بالا استفاده میکنیم. به جای اینکه گرما به همه جا پخش شود، از این منعکسکنندهها برای هدایت تشعشعات کوتاهموج به نقاط مورد نظر استفاده میکنیم. در کارخانههای مدرن، این منعکسکنندهها صرفاً آینههای سادهای نیستند؛ بلکه به واقع باعث میشوند زمان فرآیند کوتاه شود و هزینههای انرژی نیز کاهش یابد.
مقصد واقعی انرژی
نکته مهم درباره لامپهای IR استاندارد این است که آنها انرژی را در تمام جهات پخش میکنند؛ یعنی ۳۶۰ درجه. اگر منعکسکنندهای نداشته باشید، در واقع فقط بدنه دستگاه گرم میشود؛ که این کار کاملاً بیفایده است.
ما منعکسکنندههایی طراحی کردهایم که انرژی اضافی را جذب کرده و آن را دوباره به سمت ویفر هدایت کنند. با این روش، گرمای بیشتری بر روی سطح ویفر تأثیر میگذارد. بهترین نکته این است که برای انجام کار، نیازی به افزایش توان لامپ نیست؛ این کار باعث میشود کل سیستم کوچکتر و کارآمدتر باشد.
جزئیات مربوط به مواد
بسته به بودجه و نیازهای شما، معمولاً از آلومینیوم با پوشش طلا یا آلومینیوم با خلوص بالا استفاده میکنیم. طلا به دلایلی استاندارد مناسبی برای این کار است؛ چرا که بهتر از سایر مواد با طیف مادون قرمز کنار میآید؛ اما قیمت آن بالاتر است.
اما مشکل واقعی، اکسیداسیون است. باید مراقب سطوح مورد استفاده باشید؛ زیرا وقتی پوشش آنها خراب شود، توزیع گرما نامتوازن خواهد شد. در این صورت، نقاط سردی روی ویفرها ایجاد خواهد شد و اینجاست که مشکلات شروع میشوند.
یک نکته مهم: سیستمهای خود را به کنترلرهای دیجیتال متصل کنید و میزان مصرف انرژی را زیر نظر داشته باشید. اگر متوجه شدید که برای حفظ همان دما، نیاز به مصرف انرژی بیشتری دارید، احتمالاً منعکسکنندهها کثیف یا اکسید شدهاند؛ زمان تعویض آنها فرا رسیده است.
تعادل لازم
یک مشکل وجود دارد: وقتی گرما را به این شکل متمرکز میکنیم، دما بسیار بالا میرود.
اگر سیستمهای خنککننده شما کافی نباشند، مشکلات زیادی پیش خواهد آمد. ارسال انرژی زیاد به منطقه خشککردن، بدون وجود جریان هوای کافی یا سیستم خنککننده مناسب، میتواند منجر به فرسودگی سریع لامپها شود.
همه چیز به تعادل بستگی دارد؛ اگر بار حرارتی را به درستی تنظیم کنید، همه چیز به خوبی کار خواهد کرد.