چگونه گرمایش ویفرهای سیلیکونی را به درستی انجام دهیم؟
هنگام گرم کردن ویفرهای سیلیکونی، هر وات انرژی اهمیت زیادی دارد. مسئله فقط افزایش دما نیست؛ بلکه مهم این است که انرژی درست به ویفر برسد، نه اینکه فقط دیوارههای محفظه گرم شوند.
در همین جاست که بازتابندههای پوشیده شده با طلا میتوانند کمک کنند.
چرا طلا؟
لامپهای کوارتز معمولی انرژی را در تمام جهات پخش میکنند؛ در نتیجه، نیمی از انرژی صرفاً هدر میرود. ما این مشکل را با اضافه کردن یک لایه نازک از طلا به بازتابندهها حل میکنیم. این لایه، ۹۸٪ از انرژی مادون قرمز را بازتاب میدهد؛ در نتیجه، پرتوهای گرما به طور متمرکز به ویفر برخورد میکنند. شما گرمای بیشتری در همان نقاطی که نیاز دارید، دریافت خواهید کرد، بدون اینکه نیاز به استفاده از انرژی بیشتری از لامپها باشد. این روش بسیار کارآمد است.
یافتن فاصله مناسب بین لامپ و ویفر
فاصله بین لامپ و ویفر نیز مهم است. اگر فاصله خیلی کم باشد، مشکلاتی پیش خواهد آمد؛ ویفر ممکن است دچار تغییر شکل شود. اما اگر لامپ خیلی دور باشد، گرما به هوا از دست خواهد رفت.
مزیت پوشش طلا این است که امکان حفظ فاصله مناسب بدون کاهش دما را فراهم میکند. این کار باعث میشود جریان هوا مناسب باشد و در نتیجه لامپها از گرم شدن بیش از حد جلوگیری شود. این روش، روشی ایمنتر برای کار است.
معایب این روش (چون هیچ چیز کامل نیست)
البته، این روش نیز معایبی دارد. از آنجایی که این سیستمها انرژی را به شدت تمرکز میکنند، زمان لازم برای گرم شدن ویفر بسیار کوتاه است. اما این سرعت باعث میشود تفاوت دمایی در سطح ویفر بیشتر شود. بنابراین، باید از کنترلکنندههای PID برای کنترل دقیق دما استفاده کرد، تا از فراتر رفتن از دمای مورد نظر جلوگیری شود.
همچنین، طلا گرانقیمت است؛ اگر فرآیند شما از گازهای خورنده یا گرد و غبار زیادی استفاده کند، این پوشش آسیب خواهد دید. وقتی که این پوشش کثیف شود، کارایی سیستم کاهش خواهد یافت.
بنابراین، باید برنامهای برای تمیز کردن منظم این سطوح داشته باشید؛ تا سیستم شما به خوبی کار کند.