در خط تولید، آن ویفر SiC در حالت انتظار است؛ منتظر فرآیند پختن فوتورزیست که الگو را ثابت میکند. حتی کمترین تغییر دما نیز میتواند باعث اختلال در کنترل ابعاد مهم ویفر شود؛ در نتیجه، کیفیت محصول قبل از اینکه ابزارهای حکاکی متوجه آن شوند، کاهش مییابد.
چه چیزهایی واقعاً اهمیت دارند؟ ما از لامپهای گرمایشی نوع NIR با طول موج کوتاه استفاده میکنیم؛ این لامپها درون پوشش کوارتزی قرار دارند و برای پاسخ سریع به تغییرات دما و داشتن یکنواختی در سطح ویفر، طراحی شدهاند. ما توانستهایم یکنواختی دما را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ کنیم؛ بنابراین، الگوهای پختن ویفر در هر بار تولید، پایدار باقی میمانند.
این دستگاه برای استفاده در اتاقهای تمیز در کلاسهای ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ از موادی با خروجی گازی کم و مسیرهایی که کمترین میزان ذرات را دارند، برای ساخت آن استفاده شده است؛ این امر از آلودگی ویفر جلوگیری میکند. تأمین انرژی نیز یکنواخت است و لامپ نیز توان خروجی خود را در طول زمان حفظ میکند؛ ما دستگاههایی داریم که بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کردهاند و کاهش توان خروجی آنها کمتر از ۵٪ بوده است.
چرا این روش برای SiC مفید است؟ فرآیند پردازش ویفر SiC نیازمند کنترل دقیق دماست؛ این لامپ باعث میشود فرآیند پختن کنترل شود؛ جریان فوتورزیست، چسبندگی آن و فرآیندهای مربوط به پیوندزایی، همگی به درستی انجام میشوند؛ بنابراین، اختلافات در عرض ویفر و نیاز به تعمیرات کاهش مییابد.
فرآیند پختن سریع انجام میشود، اما این امر فرآیند را به یک ریسک تبدیل نمیکند؛ همچنین، عملیات تمیزکاری نیز باعث کاهش میزان ضایعات ناشی از ذرات میشود. در نتیجه، فرآیند تولید قابل پیشبینی خواهد بود؛ اختلافات کمتری وجود خواهد داشت و یکنواختی ویفرها حفظ خواهد شد؛ این همان چیزی است که لیتوگرافی نیاز دارد.
چه چیزهایی میتواند مشکل ایجاد کند؟ نصب دستگاه به مطابقت اندازه لامپ و اتصالات آن با رابطات ابزارهای تولیدکننده بستگی دارد؛ همچنین، تنظیمات دستگاه نیز مهم است؛ اگر این تنظیمات صحیح انجام نشوند، یکنواختی دما از بین خواهد رفت.
تراکم توان خروجی لامپ بالا است؛ بنابراین باید از دستورالعملهای مربوط به مدیریت حرارتی و محافظت از دستگاه پیروی کرد؛ در غیر این صورت، نقاط گرم محلی ایجاد خواهد شد. همچنین، باید تنظیمات دستگاه را در بازههای زمانی توصیهشده انجام داد تا دما در محدوده مشخصی باقی بماند و فرآیند تولید در محدوده استانداردها باقی بماند.