بهرهبرداری حداکثری از سیستم گرمایش ویفرها
وقتی که با ویفرهای نیمههادی کار میکنید، نمیتوانید اجازه دهید هیچ ماده غیرضروری در مسیر انتقال انرژی وجود داشته باشد. به همین دلیل، از لامپهای مادون قرمز بدون ازن استفاده میشود. اما راز اصلی این است که خود لامپ تنها نیمی از مشکلات را حل میکند؛ جادوی واقعی در نحوه انتقال فوتونها نهفته است.
چرا از طلا استفاده میکنیم؟
بیشتر افراد از بازتابندههای آلومینیومی استفاده میکنند، اما این بازتابندهها انرژی زیادی را جذب میکنند؛ این کار اتلاف انرژی است. ما از لایههای طلا با خلوص بالا استفاده میکنیم. چرا؟ چون طلا در بازتاب نور مادون قرمز عالی عمل میکند. به جای اینکه گرما وارد بدنه لامپ شود و انرژی هدر رود، لایه طلا امواج مادون قرمز را مستقیماً به سمت ویفر منتقل میکند. این کار باعث میشود تا هر وات انرژی وارد شده، بهتر مورد استفاده قرار گیرد؛ در نتیجه، زمان گرم شدن ویفر کاهش مییابد.
تمرکز بر سطح
در این صنعت، اگر گرمای تولید شده یکنواخت نباشد، کار اشتباه انجام شده است. بازتابندههای پوشیده شده با طلا، نور پراکنده را به پرتوهای متمرکز تبدیل میکنند؛ این کار باعث میشود که فضای مورد نیاز برای گرمایش کاهش یابد، بدون اینکه چگالی گرما کاهش یابد. ما این سیستمها را طوری طراحی کردهایم که هر وات انرژی وارد شده، واقعاً برای گرم کردن سیلیکون استفاده شود، نه هوای اطراف آن.
مزایا و معایب واقعی
البته، یک مشکل وجود دارد؛ طلا گران است. هزینههای اولیه ساخت بازتابندههای طلایی بالاتر از بازتابندههای آلومینیومی خواهد بود. اما در واقع، شما این هزینه اولیه را در ازای صرفهجویی در هزینههای برق و کاهش زمان انجام کار، جبران میکنید. در بلندمدت، این روش معمولاً مفید است.
نکته دیگر: به سیستم خنککننده توجه کنید.
از آنجایی که بازتابندههای طلایی انرژی زیادی را به سمت ویفر هدایت میکنند، نحوه دفع گرما توسط لامپ نیز تغییر میکند. اگر سیستم خنککننده شما برای این تغییرات آماده نباشد، فیلامنتهای لامپ خیلی زود خراب خواهند شد. پس، سعی کنید جریان هوا را ثابت نگه دارید تا لامپها بتوانند مدت زمان بیشتری کار کنند.