در طبقه لیتوگرافی، پخت فوتورزیست یک نیاز اساسی است—این خطی است که بین تولید محصول و انباشت ضایعات قرار دارد. یک تغییر دما به میزان ۲ درجه سلسیوس در حین پخت نرم کافی است تا تغییرات CD را در سراسر ویفر گسترش دهد. و اگر پخت سخت ثابت نباشد، شما در حال درخواست مشکلاتی مانند لایهزنی، چسبندگی ضعیف و فیلم باقیماندهای هستید که به سادگی از بین نمیرود. بخاری IR پوششدهنده/توسعهدهنده باید رفتار حرارتی تکرارپذیر ارائه دهد، چرخه پس از چرخه، بدون اینکه ذراتی به جریان اضافه کند یا پنجره فرآیند را کوچک کند.
آنچه واقعاً در زیر سطح اهمیت دارد
ما بخاری IR پوششدهنده/توسعهدهنده را بر اساس تابشکنندههای مادون قرمز کوتاهموج (NIR) ساختیم—گرمایش متصل مستقیم با کنترل حلقه بسته. نتیجه، یکنواختی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سلسیوس در سراسر صفحه پخت است، بنابراین فوتورزیست از لبه تا لبه یک بودجه حرارتی یکسان دریافت میکند. زمان پاسخ کمتر از یک ثانیه است، که به شما اجازه میدهد نرخ افزایش دما و زمان خیس شدن را به دقت کنترل کنید. این بخاری با کلاس تمیز ۱–۱۰۰ سازگار است، به لطف یک مجموعه کم خروجی و یک معماری بدون ذره که شمارش ذرات را در طول تولید طولانی ثابت نگه میدارد. بخاری به سادگی در پلتفرمهای استاندارد پوششدهنده/توسعهدهنده نصب میشود و برای عملیات ۲۴/۷ طراحی شده است، با خروجی پایدار در هزاران چرخه پخت.
چرا این در ابزار پوششدهنده/توسعهدهنده اهمیت دارد
تکرارپذیری حرارتی اهرمی است که تعدادی از پارامترها را به طور همزمان هماهنگ میکند. کنترل دقیق دما جریان فوتورزیست و حذف حلال را در حین پخت نرم بهبود میبخشد و یک وضعیت پیوند پایدار در حین پخت سخت ایجاد میکند. این موضوع به عنوان کنترل دقیقتر CD، تعداد کمتری از دستههای تعمیر مجدد و ضایعات کمتر نمایان میشود. شما همچنین در مصرف انرژی صرفهجویی میکنید زیرا بخاری به نقطه تنظیم به سرعت میرسد و آن را بدون overshoot نگه میدارد. قابلیت اطمینان به شکل زمان کارکرد نشان داده میشود—توقفهای غیرمنتظره کمتر، تماسهای کمتر برای نگهداری مرتبط با تغییرات صفحه پخت و فواصل طولانیتر بین تعویضهای مصرفی.
آنچه باید از ابتدا درست انجام دهید
نصب به تطابق حجم مکانیکی ابزار و رابط کنترل بستگی دارد—نوع کانکتور، تلورانسهای نصب و توان موجود را دوباره بررسی کنید. سیستمهای NIR سریع و یکنواخت هستند، اما پنجره تابش را تمیز نگه دارید؛ هرگونه تجمع فیلم باعث تغییر نقطه تنظیم و کاهش یکنواختی میشود. بازرسیهای روتین و تمیزکاری کنترلشده مطابق با پروتکل اتاق تمیز را در نظر بگیرید. بخاری را با پروفایل پخت دقیق و نوع رزیست مطابقت دهید—چگالی توان حداکثر برای هر پروفایل مناسب نیست. زمانی که ادغام به درستی انجام شود، شما یک پنجره فرآیند وسیعتر بدون افزودن پیچیدگی به دست میآورید.