نگهداری ویفرها در حالت تمیز: واقعیت درباره گرمایش
اگر از یک اتاق تمیز درجه ۱۰۰ استفاده میکنید، میدانید که فیلترهای هوا تنها نیمی از راه حلها هستند. مشکل واقعی، چیزهایی است که قابل مشاهده نیستند. گازهایی که از عناصر گرمایشی ساطع میشوند و ذرات ریزی که از آنها جدا میشوند، میتوانند باعث اختلال در فرآیند تولید شوند، حتی قبل از اینکه متوجه مشکل شوید.
به همین دلیل، ما از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا برای ساخت دستگاههای گرمایشی استفاده میکنیم. این ماده، آلودگیها را قبل از شروع فرآیند، متوقف میکند.
چرا خلوص ماده اهمیت دارد؟
در واقع، شیشههای استاندارد یا کوارتزهای ارزانقیمت، در دماهای بالا دچار مشکل میشوند. آنها میتوانند یونها یا ذرات ریزی را به سطح ویفر منتقل کنند. ما از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا این ماده از نظر شیمیایی بیاثر است، بنابراین نیازی نیست نگران وجود ناخالصیهای فلزی در سطح ویفر باشیم. علاوه بر این، این ماده اجازه میدهد تا تشعشعات مایکروویو از آن عبور کنند، بدون اینکه توسط آن جذب شوند. این موضوع خوب است، زیرا لوله در حالی که ویفر گرم میشود، نسبتاً خنک باقی میماند.
طراحی برای شرایط واقعی
ما مشکلاتی را که دستگاههای گرمایشی صنعتی دارند، مشاهده کردهایم؛ بنابراین دستگاههای خود را طوری طراحی کردهایم که از این مشکلات جلوگیری شود.
برای مثال، ما از مهرههای ویژه برای اتصالات استفاده میکنیم؛ بدون استفاده از چسب یا مواد چسبناک. این کار باعث میشود که هیچ چیزی برای ایجاد آلودگی وجود نداشته باشد. همچنین، از اتصالات ویژه برای اطمینان از اتصال قوی استفاده میکنیم؛ بدون ایجاد اختلالات الکتریکی یا فرسودگی در طول زمان.
یک توصیه سریع: اگر از دستگاههایی با توان بالا برای فرآیندهای حرارتی سریع استفاده میکنید، مراقب باشید. تراکم گرما بسیار بالا است؛ بنابراین مطمئن شوید که سیستم خنککننده شما قادر به مقابله با این شرایط باشد، در غیر این صورت، ممکن است محفظه دستگاه دچار آسیب شود.
تعادل بین مزایا و معایب
کوارتز مادهای محکم است، اما شکننده نیز هست. این ماده در برابر شوکهای حرارتی، عملکرد بهتری نسبت به بسیاری از مواد دیگر دارد، اما کاملاً غیرقابل شکست نیست. یک برخورد مکانیکی خفیف یا پاشیدن آب سرد، میتواند باعث ترک خوردن لوله شود. برای جلوگیری از این مشکل، پیشنهاد میکنیم از مهارکنندههای لرزش استفاده کنید؛ این کار باعث میشود که لوله در حین کار، ثابت بماند و از ترک خوردن آن جلوگیری شود.
در نهایت، ما از مواد غیرآلی استفاده کردهایم و فقط از سیلیکا با خلوص بالا استفاده کردهایم. این روش سادهای است؛ اگر از موادی استفاده کنید که واکنشی نشان ندهند، ویفر شما تمیز خواهد بود. به همین سادگی.