کاهش انتشار کربن در اتاقهای تمیز با استفاده از امواج مادون قرمز
اگر تجربه کار در کارخانههای تولید نیمههادی را داشته باشید، میدانید که فرهای سنتی چقدر انرژی مصرف میکنند. چرا؟ زیرا برای گرم کردن هوای موجود در اتاق، مقدار زیادی انرژی صرف میشود؛ در حالی که ویفر هنوز هیچ تغییری نداشته است. این کار، هدررفت انرژی است.
ما روش بهتری پیدا کردهایم؛ به جای گرم کردن هوا، از امواج مادون قرمز برای گرم کردن مستقیم ویفر یا سطح مورد نظر استفاده میکنیم. این روش ساده است، اما باعث کاهش مصرف انرژی و کاهش انتشار کربن میشود.
نحوه عملکرد این روش
تصور کنید در روز سرد، در معرض نور خورشید قرار گرفتهاید؛ شما منتظر نمیمانید تا هوای اطراف گرم شود؛ بلکه بلافاصله گرما را روی پوست خود احساس میکنید.
فرهای مبتنی بر امواج مادون قرمز نیز همین کار را انجام میدهند؛ یعنی انرژی مستقیماً به سمت سطح مورد نظر ارسال میشود. بنابراین، مصرف انرژی در هر چرخه کاهش مییابد. کمتر بودن مصرف انرژی، به معنای کمتر بودن انتشار گازهای آلاینده است.
واقعیت اتاقهای تمیز
البته، نمیتوانید به سادگی یک لامپ گرمایشی را در اتاق تمیز قرار دهید؛ زیرا این کار باعث ایجاد ذرات آلاینده میشود.
برای حفظ پاکیزگی، همه چیز را در قالب کوارتز با خلوص بالا قرار میدهیم؛ این کار باعث میشود ذرات آلاینده از منطقه فرآیند دور بمانند. از آنجایی که این سیستمها معمولاً با سطوح بزرگ کار میکنند، از ولتاژ بالا برای تأمین گرمای لازم استفاده میشود.
نکته مهم: باید طول موج مناسب را انتخاب کنید؛ استفاده از امواج کوتاه، متوسط یا بلند، بستگی به نوع ماده دارد. امواج کوتاه، گرما را به عمق سطح مورد نظر میفرستند؛ این کار باعث سریعتر شدن فرآیند گرم کردن میشود.
معایب این روش
البته، امواج مادون قرمز جادویی نیستند. در حالی که انرژی کمتری مصرف میشود، اما این لامپها گرمای زیادی تولید میکنند. اگر سیستم خنککننده مناسبی نداشته باشید، احساس گرما خواهید کرد. اگر خنککننده ضعیف باشد، حسگرها دچار اختلال خواهند شد؛ و این همان مشکلاتی است که ممکن است پیش بیاید.
راز موفقیت این روش، تقسیم اتاق به مناطق مختلف است؛ به این ترتیب، گرما تنها به مناطقی که نیاز به آن دارند، ارسال میشود. این روش، راهی برای کاهش انتشار کربن است.