공장 건조 공정에 대한 에너지 점검
웨이퍼 건조 과정에서 발생하는 열 낭비를 막아보세요.
솔직히 말해서, 웨이퍼 제조 공정의 건조 단계는 사실상 비싼 히터와 같은 역할을 합니다. 엄청난 양의 에너지가 사용되지만, 그 열의 상당 부분은 벽에 부딪혀 반사되거나 장비 내부로 빠져나갑니다. 이는 에너지의 낭비...
MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
건조 과정에서 MEMS 웨이퍼를 항상 깨끗하게 유지하는 방법
만약 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 가스가 발생하거나 원치 않는 불순물들이 생기는 문제를 잘 알고 있을 것입니다. 이러한 문제는 보통 건조 단계에서 발생합니다. 일반적인 히터들은 이러한 상황에...