광학 웨이퍼 처리 히터

Fab floor에서 포토레지스트 공정은 열 편차를 용납하지 않는다. 소프트 베이크나 하드 베이크 중 웨이퍼 전반에 걸쳐 0.5°C의 온도 편차가 발생하면 라인폭 변화로 나타나며, 단 한 번의 입자 발생으로도 다수의 제품이 불량이 될 수 있다. 따라서 웨이퍼 공정 히...