클린룸을 실제로 깨끗하게 유지하는 방법: 클래스 100 환경에서의 가열 비결 클래스 100급 클린룸을 운영한다면, 그 과정이 얼마나 까다로운지 잘 알고 있을 것입니다. 조금이라도 실수가 있으면 안 됩니다. 아주 작은 이물질이나 가열 요소에서 나오는 미세한 입자만으로도...

웨이퍼가 아닌 장비를 가열하는 것을 그만두세요. 대부분의 적외선 램프는 다소 문제가 있습니다. 이 램프들은 열을 모든 방향으로 방출합니다. 반도체 제조 장비 안에 이런 램프를 사용하면 엄청난 양의 에너지가 낭비됩니다. 그 열이 웨이퍼가 아닌 장비의 내부 벽에 부딪히게...