Trên dây chuyền sản xuất, tấm wafer SiC chỉ đơn giản là nằm yên tại chỗ, chờ đợi quá trình nung để cố định mô hình trên bề mặt wafer. Chỉ cần nhiệt...

On the fab floor, photoresist processing doesn’t forgive thermal drift. A 0.5°C hot/cold spread across the wafer during soft bake or hard bake shows...