Cảm biến nhiệt độ dành cho thiết bị xử lý wafer
Làm thế nào để sử dụng công nghệ sưởi ấm và cảm biến bằng tia hồng ngoại một cách hiệu quả trong các nhà máy sản xuất wafer
Hiện nay, có rất nhiều nỗ...
Máy sấy wafer cảm biến MEMS
Giữ cho các tấm wafer MEMS luôn sạch sẽ trong quá trình sấy khô
Nếu bạn đang vận hành phòng sạch loại 100, chắc hẳn bạn đã từng gặp phải tình trạng...
Bộ sưởi wafer tiết kiệm năng lượng
Giữ cho các tấm wafer luôn sạch sẽ: Sự thật về việc sử dụng nguồn nhiệt
Nếu bạn đang vận hành phòng sạch loại Class 100, bạn chắc hẳn đã biết rằng bộ...
Bộ phản quang dùng cho đèn sấy wafer
Đảm bảo nhiệt độ phù hợp trong quá trình xử lý wafer
Nếu bạn từng trải qua việc xử lý wafer, chắc hẳn bạn biết rõ những khó khăn liên quan đến hiện...
Khoảng cách an toàn khi làm nóng wafer
Làm thế nào để làm nóng wafer một cách hiệu quả?
Khi làm nóng các tấm silicon, mỗi watt năng lượng đều rất quan trọng. Điều quan trọng không chỉ là...
Cảm biến hồng ngoại độ chính xác dùng cho wafer
Khi vận hành phòng sạch loại 100, việc chỉ đảm bảo mức độ sạch “gần như hoàn hảo” là chưa đủ. Chỉ cần có một mảnh vụn nhỏ từ các bộ phận gia nhiệt –...
Đèn sưởi dùng trong quy trình xử lý wafer SiC
Trên dây chuyền sản xuất, tấm wafer SiC chỉ đơn giản là nằm yên tại chỗ, chờ đợi quá trình nung để cố định mô hình trên bề mặt wafer. Chỉ cần nhiệt...
Lò sưởi hồng ngoại dùng để loại bỏ khí trong wafer
Trong quá trình sấy khô wafer, loại bỏ khí trong wafer, hoặc xử lý lớp phủ quang học, việc sử dụng tia hồng ngoại giúp rút ngắn thời gian xử lý và...
Bộ gia nhiệt xử lý tấm quang học
On the fab floor, photoresist processing doesn’t forgive thermal drift. A 0.5°C hot/cold spread across the wafer during soft bake or hard bake shows...