Đảm bảo nhiệt độ phù hợp trong quá trình xử lý wafer
Nếu bạn từng trải qua việc xử lý wafer, chắc hẳn bạn biết rõ những khó khăn liên quan đến hiện tượng wafer bị biến dạng hoặc có sự phân bố hóa chất không đều trên bề mặt nó. Nguyên nhân thường là do nhiệt độ không được phân bố đồng đều trên bề mặt wafer.
Chính vì vậy, chúng ta sử dụng các hệ thống phản xạ ánh sáng hồng ngoại có độ phản xạ cao. Thay vì để nhiệt tỏa ra mọi hướng, chúng ta sử dụng các bộ phản xạ này để hướng chùm tia hồng ngoại đến đúng vị trí cần thiết. Trong các nhà máy hiện đại, những bộ phản xạ này không chỉ là những tấm gương thông thường; chúng giúp rút ngắn thời gian xử lý và tránh việc chi phí năng lượng tăng vọt.
Nơi mà năng lượng thực sự được sử dụng
Với các bóng đèn hồng ngoại thông thường, chúng tỏa năng lượng ra mọi hướng – 360 độ. Nếu không có bộ phản xạ, bạn sẽ chỉ làm nóng phần khung máy, điều này hoàn toàn lãng phí năng lượng. Chúng tôi thiết kế các bộ phản xạ sao cho có thể thu hồi lại năng lượng đã tỏa ra và hướng chúng trở lại vào bề mặt wafer. Nhờ vậy, nhiệt độ trên bề mặt wafer sẽ cao hơn. Điều tuyệt vời nhất là bạn không cần tăng công suất đèn để đạt được hiệu quả tương tự. Điều này giúp giữ cho toàn bộ hệ thống hoạt động một cách hiệu quả và tiết kiệm năng lượng.
Những yếu tố liên quan đến vật liệu
Tùy vào ngân sách và nhu cầu của bạn, chúng tôi thường sử dụng vật liệu được phủ vàng hoặc nhôm có độ tinh khiết cao. Vàng là vật liệu lý tưởng để sử dụng trong các hệ thống hồng ngoại, vì nó có khả năng xử lý ánh sáng hồng ngoại tốt hơn bất kỳ vật liệu nào khác. Tuy nhiên, giá thành của nó khá cao. Yếu tố quan trọng nhất là việc chống oxy hóa. Bạn cần chú ý đến bề mặt của các bộ phản xạ; nếu lớp phủ bị hư hỏng, việc phân bố nhiệt sẽ bị ảnh hưởng. Lúc đó, bạn sẽ gặp phải tình trạng “vùng lạnh” trên bề mặt wafer, và đó chính là điểm bắt đầu của các vấn đề.
Một mẹo nhỏ: Hãy kết nối hệ thống của bạn với bộ điều khiển kỹ thuật số và theo dõi lượng năng lượng tiêu thụ. Nếu bạn nhận thấy mình phải sử dụng nhiều năng lượng hơn để duy trì cùng một nhiệt độ, có lẽ bộ phản xạ của bạn đã bị bẩn hoặc bị oxy hóa. Lúc đó, bạn cần thay thế nó ngay.
Những rủi ro khi tập trung nhiệt độ cao
Khi tập trung nhiệt độ cao như vậy, mọi thứ sẽ trở nên rất nóng. Nếu hệ thống làm mát của bạn không đủ mạnh, bạn sẽ gặp rất nhiều vấn đề. Việc đưa toàn bộ năng lượng trở lại vùng xử lý mà không có đủ luồng khí hoặc bộ tản nhiệt hiệu quả sẽ dẫn đến hậu quả nghiêm trọng. Các điện cực của đèn sẽ bị quá nhiệt và hỏng sớm hơn dự kiến.
Tóm lại, mọi thứ đều cần được cân nhắc kỹ lưỡng. Nếu bạn có thể kiểm soát được nhiệt độ một cách chính xác, mọi thứ sẽ hoạt động tốt.