Giữ cho các tấm wafer luôn sạch sẽ: Sự thật về việc sử dụng nguồn nhiệt
Nếu bạn đang vận hành phòng sạch loại Class 100, bạn chắc hẳn đã biết rằng bộ lọc không khí chỉ là yếu tố quan trọng một phần thôi. Vấn đề thực sự nằm ở những thứ mà chúng ta không thể nhìn thấy được. Các chất độc hại được giải phóng từ các bộ phận tạo nhiệt có thể gây hại cho các tấm wafer trước cả khi chúng ta kịp nhận ra có vấn đề.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao để làm bộ phận tạo nhiệt cho các tấm wafer. Việc này giúp ngăn chặn sự ô nhiễm ngay từ đầu.
Tại sao chất liệu lại quan trọng đến vậy?
Thực tế là, thủy tinh thông thường hoặc thạch anh giá rẻ thường gặp vấn đề khi được sử dụng trong môi trường có nhiệt độ cao. Chúng có thể giải phóng các ion hoặc các hạt vi mô vào bề mặt tấm wafer. Chúng tôi sử dụng thạch anh có độ tinh khiết cao vì chất liệu này không bị biến đổi về mặt hóa học, do đó không lo ngại về sự xâm nhập của các tạp chất kim loại vào bề mặt tấm wafer. Ngoài ra, thạch anh còn cho phép bức xạ hồng ngoại đi qua mà không bị hấp thụ. Điều này rất tốt, vì vậy ống dẫn nhiệt vẫn giữ được nhiệt độ ổn định trong khi tấm wafer nhận được toàn bộ nhiệt lượng cần thiết.
** Thiết kế phù hợp với điều kiện thực tế**
Chúng tôi đã quan sát xem các bộ phận tạo nhiệt công nghiệp thường gặp vấn đề ở đâu, và chúng tôi thiết kế các bộ phận của mình sao cho tránh được những vấn đề đó. Ví dụ, chúng tôi sử dụng phương pháp kết nối bằng cách hàn, không sử dụng keo hay chất kết dính. Như vậy, sẽ không có chất gì có thể giải phóng ra và gây ô nhiễm môi trường. Chúng tôi cũng sử dụng các phụ kiện chuyên dụng để đảm bảo kết nối điện được chắc chắn. Không có hiện tượng cháy nổ hay suy giảm chất lượng theo thời gian – chỉ có sự kết nối vững chắc mà thôi.
Một mẹo nhỏ: Nếu bạn sử dụng các bộ phận tạo nhiệt có công suất cao để xử lý nhiệt nhanh, hãy cẩn thận. Mật độ nhiệt cao có thể gây hại cho các bộ phận máy móc. Hãy đảm bảo rằng hệ thống làm mát của bạn hoạt động tốt, nếu không bạn sẽ gặp vấn đề với vỏ máy.
Nhược điểm của thạch anh
Thạch anh rất bền, nhưng lại dễ vỡ. Nó có khả năng chịu đựng tác động nhiệt tốt hơn hầu hết các chất liệu khác, nhưng cũng không phải là vô địch. Chỉ cần một va chạm nhẹ hoặc một làn nước lạnh bất ngờ, ống thạch anh có thể bị vỡ ngay lập tức. Đó là một tình huống rất nguy hiểm.
Để tránh điều đó, chúng tôi khuyên bạn nên sử dụng các bộ phận giảm chấn. Điều này giúp giữ cho các bộ phận máy móc ổn định trong quá trình hoạt động, từ đó tránh được các vết nứt.
Cuối cùng, chúng tôi chỉ đơn giản loại bỏ các chất kết dính hữu cơ và sử dụng thạch anh có độ tinh khiết cao. Đó là cách đơn giản nhất để có được tấm wafer sạch sẽ.