Het juiste niveau van hitte in uw fabriek
Als u ooit te maken hebt gehad met het drogen van wafer’s, weet u wat voor nachtmerrie het kan zijn wanneer de wafer’s vervormen of er ongelijkmatig chemische stoffen op worden afgezet. Meestal komt dit door één ding: de hitte bereikt de oppervlakken niet gelijkmatig.
Daarom maken we gebruik van IR-systemen met hoge reflectiecapaciteit. In plaats van dat de hitte overal heen gaat, gebruiken we deze reflectoren om de kortegolfradiatie precies daarheen te sturen waar het nodig is. In een moderne fabriek zijn dit geen gewone spiegels; ze zorgen er namelijk voor dat de verwerkingstijd kort blijft en de energiekosten niet te hoog worden.
Waar gaat de energie naartoe?
Bij standaard IR-lampen gaat de energie in alle richtingen – 360 graden. Als er geen reflectoren zijn, wordt het machinechassis verhit, wat zonde is.
Wij ontwerpen onze reflectoren zo dat ze de energie weer terugsturen naar de wafer. Hierdoor wordt de hitteopname op het oppervlak veel efficiënter. Het beste van alles? U hoeft de vermogenssterkte niet te verhogen om hetzelfde resultaat te bereiken. Dit zorgt er ook voor dat de hele installatie compact en efficiënt blijft.
Materialen: welk materiaal kiezen?
Afhankelijk van uw budget en behoeften kiezen we meestal voor goudcoated of hoogzuiver aluminium. Goud is de standaard omdat het het infrarode spectrum beter kan verwerken dan andere materialen. Echter, dit kost meer geld.
De echte uitdaging is oxidatie. Houd de oppervlakken in de gaten. Zodra de laag begint te verslechteren, wordt de warmteverdeling ongelijkmatig. Dan zie je ‘koude plekken’ op de wafer’s, en dat is waar de problemen beginnen.
Een tip: sluit uw systemen aan op digitale controllers en houd de energieverbruik in de gaten. Als u merkt dat u meer energie moet gebruiken om dezelfde temperatuur te behouden, is het waarschijnlijk dat uw reflectoren vuil of geoxideerd zijn. Dan is het tijd om ze te vervangen.
De balans vinden
Er is wel een nadeel: wanneer u de hitte zo intensief concentreert, worden de onderdelen erg heet. Als uw koelsystemen niet voldoende zijn, loopt u gevaar. Het is belangrijk om voldoende luchtcirculatie en een goede koeling te hebben. Anders kunnen de lampelectroden oververhit raken en gaan de buizen eerder kapot dan nodig is.
Het is allemaal een kwestie van balans. Als u de thermische last goed regelt, werkt alles perfect.