Heaterlamp voor SiC wafelverwerking
Op de productielijn ligt die SiC-wafer gewoon te wachten, tot de fotoresist wordt verhit, zodat het patroon vastligt. Zelfs een kleine...
Optische waferverwerkingsverwarming
Op de productievloer vergeven photoresist-processen geen thermische afwijkingen. Een temperatuurverschil van 0,5°C over de wafer tijdens soft bake of...