Memastikan Suhu yang Tepat dalam Proses Pembuatan Wafer
Jika anda pernah berurusan dengan proses pengeringan wafer, pasti anda tahu betapa menyakitkannya apabila wafer mengalami pembengkokan atau penyebaran bahan kimia yang tidak merata. Masalah ini biasanya disebabkan oleh satu faktor sahaja: suhu yang diberikan tidak mencapai permukaan wafer secara merata.
Itulah sebabnya kita menggunakan sistem IR yang mempunyai daya pantulan yang tinggi. Daripada membiarkan haba tersebar ke semua arah, kita gunakan alat pantul ini untuk mengarahkan sinar gelombang pendek tepat ke tempat yang diperlukan. Dalam kilang moden, alat pantul ini bukan sekadar cermin biasa; ia merupakan alat yang membantu memendekkan masa proses pembuatan serta mengelakkan kos tenaga daripada meningkat secara drastik.
Ke Mana Pergi Tenaga tersebut?
Lampu IR biasa akan memancarkan tenaga ke semua arah, iaitu 360 darjah. Jika tiada alat pantul, maka mesin tersebut akan menjadi terlalu panas, dan itu merupakan pembaziran tenaga yang besar. Kita reka alat pantul ini untuk menangkap tenaga yang terlepas tersebut dan mengarahkannya kembali ke permukaan wafer. Dengan cara ini, haba dapat disalurkan dengan lebih efektif ke permukaan wafer. Yang terbaik ialah anda tidak perlu meningkatkan kuasa lampu untuk mendapatkan hasil yang diinginkan. Ini membolehkan keseluruhan sistem berfungsi dengan lebih efisien.
Butiran Mengenai Bahan yang Digunakan
Bergantung pada bajet dan keperluan anda, kita biasanya menggunakan aluminium yang dilapisi emas atau aluminium berkualiti tinggi. Emas merupakan bahan yang paling sesuai untuk tujuan ini, kerana ia mampu menyerap spektrum inframerah dengan lebih baik berbanding bahan lain. Namun, harga emas agak mahal.
Masalah sebenar adalah oksidasi. Pastikan permukaan bahan tersebut sentiasa bersih. Apabila lapisan pelindung tersebut mula rosak, distribusi haba akan menjadi tidak merata. Anda akan melihat “titik sejuk” pada permukaan wafer, dan inilah permulaan masalah.
Petua: Sambungkan sistem anda ke kawalan digital dan perhatikan penggunaan tenaga. Jika anda perlu menggunakan lebih banyak tenaga untuk mengekalkan suhu yang sama, kemungkinan besar alat pantul tersebut sudah kotor atau telah teroksida. Sudah tiba masanya untuk menggantinya.
Keseimbangan yang Perlu Dicapai
Terdapat trade-off dalam hal ini. Apabila haba disalurkan dengan sangat intensif, suhu akan menjadi sangat tinggi. Jika sistem penyejukan tidak cukup kuat, ia akan menyebabkan masalah. Mengalirkan haba yang banyak tanpa aliran udara yang mencukupi atau penyerap haba yang efektif akan menyebabkan elektrod lampu menjadi terlalu panas, sehingga lampu tersebut musnah lebih awal daripada yang sepatutnya.
Semuanya memerlukan keseimbangan yang tepat. Jika suhu dapat dikawal dengan baik, segalanya akan berjalan lancar.