در خط تولید، آن ویفر SiC در حالت انتظار است؛ منتظر فرآیند پختن فوتورزیست که الگو را ثابت می‌کند. حتی کمترین تغییر دما نیز می‌تواند باعث اختلال در...

در سالن تولید، فرآیندهای مربوط به فوتورزیست تحمل نوسانات حرارتی را ندارند. تغییر دمای 0.5°C در طول پخت نرم یا پخت سخت روی ویفر باعث تغییر ضخامت خطوط...