ওয়েফার ফ্যাব্রিকেশনে আইআর হিটিং ও সেন্সিং ঠিকভাবে ব্যবহার করা খুবই গুরুত্বপূর্ণ। বর্তমানে সেমিকন্ডাক্টর উপকরণগুলোকে আরও কার্বন-নিউট্রাল করার জন্য চেষ্টা চলছে। এজন্য আমরা পুরানো ধরনের রেজিস্টিভ হিটিং পদ্ধতি বাদ দিয়ে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড হিটিং পদ্ধতি ব্যবহার করছি।
এর সুবিধা হলো, ওয়েফারের পৃষ্ঠকে সরাসরি উত্তপ্ত করা যায়। ওয়েফারকে সঠিক তাপমাত্রায় আনার জন্য পুরো চেম্বারটিকে উত্তপ্ত করার দরকার নেই। এতে অনেক অপচয় কমে যায় এবং বিদ্যুৎ ব্যয়ও কমে যায়।
তাপ নিয়ন্ত্রণ
ওয়েফার ফ্যাব্রিকেশনে তাপ ঘনত্বই সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ। আমরা হ্যালোজেন-ভিত্তিক ইনফ্রারেড ল্যাম্প ব্যবহার করি; কারণ এগুলো অত্যন্ত দ্রুত তাপ উৎপন্ন করে। কিন্তু দ্রুততা বিপজ্জনক হতে পারে। যদি এই ল্যাম্পগুলোকে নির্ভুল সেন্সরগুলোর সাথে ব্যবহার না করা হয়, তাহলে লক্ষ্য অতিক্রম হয়ে যাবে। আর এই ক্ষেত্রে অতিরিক্ত তাপ শুধুমাত্র বিদ্যুৎ অপচয় নয়—বরং দামী ওয়েফারগুলো নষ্ট হওয়ারও কারণ হতে পারে।
সেন্সর সংক্রান্ত সমস্যাগুলো
ভ্যাকুয়াম অবস্থায় কাজ করার সময় শুধুমাত্র বায়ুর তাপমাত্রার উপর নির্ভর করা যায় না। তার পরিবর্তে আমরা নন-কন্টাক্ট পাইরোমিটার ব্যবহার করি; এগুলো ওয়েফারের তাপ নির্গমন পর্যবেক্ষণ করে। এই সেন্সরগুলো পাওয়ার সাপ্লাইর সাথে যুক্ত থাকে; ফলে ল্যাম্পের আউটপুট রিয়েল-টাইমে নিয়ন্ত্রিত হয়। যদি সেন্সরগুলো ঠিকমতো কাজ না করে, তাহলে ওয়েফারের কিছু অংশ অন্য অংশগুলোর তুলনায় বেশি গরম হয়ে যায়; ফলে অসমান ইটিং/ডিপোজিশন হয়। এটা কাঙ্ক্ষিত নয়।
সুবিধা ও অসুবিধাগুলো
আইআর হিটিং ব্যবহার করলে “গ্রিন ফ্যাক্টরি” লক্ষ্যগুলো অর্জন করা সম্ভব। এতে উত্তপ্ত হওয়ার সময় কমে যায় এবং ব্যবহৃত শক্তির কার্যকারিতা বেড়ে যায়। কিন্তু এটা কোনো সহজ সমাধান নয়। উচ্চ-তীব্রতার ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলো প্রচুর তাপ উৎপন্ন করে। তাই কুলিং সিস্টেমগুলো ঠিকমতো কাজ করতে হবে। যদি কুলিং সিস্টেমগুলো ঠিকমতো কাজ না করে, তাহলে ল্যাম্পগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হয় এবং কোয়ার্টজ আবরণগুলোও দ্রুত ক্ষয় হয়ে যায়। অতিরিক্ত কিলোওয়াট শক্তি ব্যবহার রোধ করার একমাত্র উপায় হলো সেন্সরগুলোকে নিখুঁতভাবে ক্যালিব্রেট করা।