লাইনে রাখা সিসি ওয়েফারটি সেখানেই থাকে; ফটোরেজিস্টকে ঠিকভাবে আটকে রাখার জন্য অপেক্ষা করে। তাপমাত্রায় এমনকি অল্প পরিবর্তনও হলেই ওয়েফারের গুণমান কমে যায়—ইটার কাজ শুরু হওয়ার আগেই এটা ঘটে যায়।
আসলে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা কোয়ার্টজ কভারের ভিতরে শর্ট-ওয়েভ এনআইআর হ্যালোজেন হিটার ল্যাম্প ব্যবহার করি; এটা দ্রুত তাপীয় প্রতিক্রিয়া ও ওয়েফারের গুণমান বজায় রাখে। বেকিং প্রক্রিয়ায় তাপমাত্রা +/-0.1°C এর মধ্যে থাকে; ফলে সব লটেই গুণমান স্থিতিশীল থাকে।
এটা ক্লাস 1–100 ধরনের ক্লিনরুমে ব্যবহারের জন্য উপযুক্ত; কম গ্যাস নির্গমনকারী উপাদান ও কণা-মুক্ত পথ ব্যবহার করে তৈরি করা হয়েছে। পাওয়ার সরবরাহ স্থিতিশীল থাকে; আমাদের ল্যাম্পগুলো 5,000+ ঘণ্টা কাজ করেও 5% এর কম কম্প্রেশন দেখায়।
সিসি ওয়েফার প্রক্রিয়ায় এটা কেন গুরুত্বপূর্ণ?
সিসি ওয়েফার প্রক্রিয়ায় তাপীয় নিয়ন্ত্রণ খুবই গুরুত্বপূর্ণ। এই ল্যাম্পটি বেকিং প্রক্রিয়াকে নিয়ন্ত্রণে রাখে; ফটোরেজিস্টের প্রবাহ, আঠালোতা ও ক্রসলিঙ্কিং সঠিকভাবে হয়। ফলে ওয়েফারের গুণমান ভালো থাকে।
কী কী বিষয় সমস্যা সৃষ্টি করতে পারে?
ল্যাম্পটি ইনস্টল করার সময় ল্যাম্পের আকার ও কানেক্টরটি OEM টুলের ইন্টারফেসের সাথে মেলানো খুবই গুরুত্বপূর্ণ। অ্যালাইনমেন্টও গুরুত্বপূর্ণ—স্ট্যান্ডওফ সঠিক থাকলেই ওয়েফারের গুণমান ভালো থাকে।
আউটপুট পাওয়ার ঘনত্ব বেশি হওয়ায় তাপীয় ব্যবস্থাপনা ও শিল্ডিং ব্যবস্থা মেনে চলা জরুরি। না হলে স্থানীয়ভাবে উচ্চ তাপমাত্রা দেখা দেয়। নির্ধারিত সময় অন্তর ক্যালিব্রেশন করা উচিত; যাতে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণে থাকে ও প্রক্রিয়াটি সঠিকভাবে চলে।