ফ্যাব ফ্লোরে
ফটোরেসিস্ট বেকের সময় অর্ধ ডিগ্রি ড্রিফটও লাইনওয়idthে প্রভাব ফেলার জন্য যথেষ্ট এবং উৎপাদন হার কমাতে শুরু করে। তাপমাত্রাকে একটি অনুমানের খেলা হিসেবে পরিচালনা করা যাবে না—আপনাকে এমন তাপীয় নিয়ন্ত্রণের প্রয়োজন যা একটি প্রকৃত প্রক্রিয়া প্যারামিটারের মতো আচরণ করে, একটি চলন্ত লক্ষ্য নয়।
প্রযুক্তিগত দিক থেকে গুরুত্বপূর্ণ আমরা ওয়েফার ড্রায়ারটি পুনরাবৃত্তির চারপাশে তৈরি করেছি: ওয়েফার-স্তরের সামঞ্জস্য ±0.1°C এর মধ্যে, সেটপয়েন্ট স্থিতিশীলতা যা সফট বেক এবং হার্ড বেক জুড়ে ধরে, এবং র্যাম্প রেট যা ফটোরেসিস্ট তাপীয় বাজেটকে সম্মান করে। হিটার স্ট্যাকটি কুইার্টজ-স্টেবিলাইজড উপাদানগুলির সাথে ক্লোজড-লুপ নিয়ন্ত্রণ ব্যবহার করে, তাই দরজার সাইকেল প্রতিটি সময় ওভারশুট হয় না।
ক্লিনরুমের আচরণ অন্তর্ভুক্ত—ক্লাস 1–100 সম্মতি, শূন্য কণা উৎপাদন, এবং নিষ্কাশন রুটিং যা দূষিত পদার্থ বায়ুতে ফিরিয়ে দেয় না। নির্ভরযোগ্যতা 24/7 চলাচলের জন্য সেট করা হয়েছে, MTBF ডেটা এবং মডিউলগুলির দ্বারা সমর্থিত যা লাইনটিকে ভাঙা ছাড়াই সার্ভিসযোগ্য।
লিথোগ্রাফিতে কেন এটি গুরুত্বপূর্ণ লিথোগ্রাফি সেলে, এই ড্রায়ারটি সঙ্কুচিত CD নিয়ন্ত্রণ এবং পুনরায় কাজের লটের সংখ্যা কমানোর ক্ষেত্রে প্রদর্শিত হয়। ফটোরেসিস্ট প্রোফাইলগুলি লট থেকে লটে ধারাবাহিক থাকে কারণ তাপমাত্রার প্রোফাইলটি পুনরাবৃত্তি হয়, সময়কাল।
শক্তির ব্যবহারও কমে যায়—কার্যকর তাপীয় ভর এবং ব্যাচ পরিবর্তনের পরে দ্রুত পুনরুদ্ধার প্রক্রিয়াকে চলমান রাখে, উত্তপ্ত হতে অপেক্ষা না করে। অপারেটররা ড্রিফটের পেছনে ছুটে যাওয়া বন্ধ করে এবং লাইনে ফিরে আসে।
এখানে প্রায়োগিক বিবরণ স্থাপনায় একটি নিবেদিত নিষ্কাশন টায়-ইন এবং সঙ্কুচিত শক্তির প্রয়োজন রয়েছে। এর ছাড়া, আপনি প্রথম দিন থেকেই সেটপয়েন্ট স্থিতিশীলতার জন্য লড়াই করছেন।
ফুটপ্রিন্টটি বিদ্যমান ট্র্যাকে রেট্রোফিট করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, কিন্তু আপনার বিশেষ টুলিংয়ের বিরুদ্ধে গ্যাস এবং বৈদ্যুতিক ইন্টারফেসগুলি নিশ্চিত করুন অর্ডার করার আগে।
কমিশনিং একটি সম্পূর্ণ তাপীয় যোগ্যতা রান হওয়া উচিত—ওয়েফার ম্যাপ, সেটপয়েন্ট যাচাইকরণ, এবং কণা পর্যবেক্ষণ—তাহলে আপনি প্রক্রিয়ার উইন্ডোটি লক করতে পারেন এবং এগিয়ে যেতে পারেন।