
Giảm lượng khí thải carbon trong quy trình gia nhiệt ở các nhà máy sản xuất chất bán dẫn
Hãy thành thật mà nói: quy trình sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi rất nhiều năng lượng. Hầu hết các phương pháp gia nhiệt cũ đều gây lãng phí năng lượng. Chúng làm nóng mọi thứ – không khí, căn phòng, các bức tường – chỉ để đạt được nhiệt độ cần thiết cho wafer. Điều này vừa chậm chạp, vừa tốn kém, và thật là một thách thức đối với những ai muốn đạt được mục tiêu giảm lượng khí thải carbon.
Bí quyết nằm ở cấu trúc vỏ bọc
Hầu hết mọi người chỉ nhìn thấy vỏ bọc của các thiết bị này như một chiếc khung kim loại thông thường. Nhưng tôi lại coi đó như một “tấm gương”. Chúng tôi sử dụng thép không gỉ cao cấp để chế tạo vỏ bọc này. Tại sao ư? Bởi vì khi wafer được xử lý ở nhiệt độ cao, kim loại không được phép bị oxi hóa hoặc bong tróc. Nhưng điều thực sự quan trọng là việc gia công bề mặt vỏ bọc sao cho chúng có độ bóng như gương. Nhờ đó, bức xạ hồng ngoại sẽ được phản xạ trở lại chính vị trí cần được gia nhiệt.
Thay vì để nhiệt lượng tỏa ra ngoài phòng sạch, chúng ta có thể đẩy nhiệt lượng vào chính vị trí cần thiết. Nhờ đó, wafer sẽ nhận được lượng nhiệt cần thiết, và hệ thống điều hòa không khí cũng không cần phải hoạt động quá tải để làm mát căn phòng.
Tại sao lại chọn thép không gỉ?
Có lẽ bạn sẽ tự hỏi tại sao chúng tôi không sử dụng nhôm. Nhôm nhẹ hơn, đúng vậy. Nhưng nhôm dễ bị biến dạng dưới tác động của nhiệt độ cao. Khi vỏ bọc bị biến dạng, các bóng đèn hồng ngoại sẽ mất đi khả năng chiếu sáng hiệu quả. Vì vậy, thép không gỉ là lựa chọn tốt nhất. Dù nó nặng hơn một chút, nhưng chi phí tiết kiệm được từ việc không lãng phí năng lượng thì vẫn lớn hơn nhiều so với việc phải chịu thêm vài pound trọng lượng của kim loại.
Tạo ra “nhà máy xanh” thực sự
Ưu điểm lớn nhất của phương pháp này là chúng ta chỉ cần gia nhiệt cho bộ phận cần thiết, chứ không phải toàn bộ căn phòng. Điều này giúp giảm đáng kể lượng khí thải carbon.
Nhưng chúng tôi cũng quan tâm đến những người vận hành các thiết bị này. Không có gì tồi tệ hơn việc bóng đèn hỏng và phải mất hàng giờ để điều chỉnh lại hệ thống gia nhiệt. Chúng tôi thiết kế vỏ bọc sao cho có thể thay thế bóng đèn một cách nhanh chóng. Chỉ cần thay bóng đèn mới, máy móc lại có thể hoạt động trở lại ngay lập tức. Điều này giúp tránh lãng phí năng lượng trong lúc máy móc đang được sửa chữa. Thật là một giải pháp thông minh.