Giữ cho phòng sạch luôn sạch sẽ: Sự thật về việc sử dụng các thiết bị sưởi
Trong lĩnh vực chế tạo linh kiện bán dẫn và thiết bị quang học, một hạt bụi nhỏ cũng có thể gây ra hậu quả nghiêm trọng. Nó có thể phá hủy toàn bộ tấm wafer chỉ trong chốc lát.
Vấn đề là: hầu hết các thiết bị sưởi bằng tia hồng ngoại đều gây ra nhiều bụi bẩn. Khi chúng hoạt động, chúng sẽ giải phóng ra các hạt bụi vi mô. Để tránh tình trạng này, chúng ta sử dụng các lớp vật liệu thủy tinh khoáng có độ tinh khiết cao để bảo vệ các thiết bị sưởi. Có thể coi đó như “vệ sĩ công nghệ cao” bảo vệ các bộ phận quan trọng trong quá trình sản xuất.
Tại sao chất liệu lại quan trọng?
Chúng ta không sử dụng bất kỳ loại thủy tinh nào thông thường. Chúng ta sử dụng thủy tinh silicat tổng hợp. Thủy tinh thông thường chứa các kim loại kiềm; khi bị nung nóng, các kim loại này sẽ di chuyển, gây ra nhiều chất gây ô nhiễm trên bề mặt vật liệu được xử lý. Điều này rất nguy hiểm.
Các lớp vật liệu thủy tinh khoáng này đóng vai trò như một bức tường ngăn cách giữa bộ phận sưởi và vật liệu được xử lý. Chúng cho phép tia hồng ngoại đi xuyên qua, nhưng lại ngăn chặn các chất bẩn từ bên trong thiết bị sưởi.
Việc kiểm soát nhiệt độ
Việc kiểm soát mật độ nhiệt độ là điều khá khó khăn. Khi các thiết bị sưởi hoạt động ở công suất cao, sự chênh lệch nhiệt độ giữa phần lõi sưởi và lớp vật liệu bảo vệ rất lớn. Chúng ta phải chú ý đến độ dày của lớp vật liệu thủy tinh khoáng. Nếu quá dày, hiệu suất sẽ giảm; nếu quá mỏng, lớp vật liệu này sẽ bị nứt ngay khi nhiệt độ tăng cao. Đó là một thử thách thực sự.
Một mẹo nhỏ: hãy kiểm tra hệ thống hút chân không. Ngay cả thủy tinh khoáng có độ tinh khiết cao cũng không thể giúp ích gì nếu vẫn còn dấu vân tay hoặc bụi bẩn trên bề mặt. Những chất bẩn này sẽ tích tụ trên bề mặt thủy tinh, tạo ra các điểm nóng, và cuối cùng làm hỏng thiết bị.
Lắp đặt các lớp vật liệu bảo vệ
Các lớp vật liệu bảo vệ này được thiết kế để dễ dàng thay thế. Chúng ta cần chú ý đến việc lắp đặt sao cho không còn khe hở nào cho bụi bẩn xâm nhập vào. Hãy nhớ rằng, dù chất liệu này có độ bền cao về mặt hóa học, nhưng về cơ bản vẫn là thủy tinh – một vật liệu dễ vỡ. Hãy yêu cầu nhân viên kỹ thuật phải cẩn thận khi lắp đặt. Hãy sử dụng khăn lau không chứa bụi và dung dịch IPA để giữ cho mọi thứ ở mức tiêu chuẩn Class 100. Nếu bạn thấy dù chỉ một vết nứt nhỏ, hãy vứt bỏ lớp vật liệu đó và thay thế ngay. Không đáng để mạo hiểm đâu.