Giữ cho các tấm wafer MEMS luôn sạch sẽ trong quá trình sấy khô
Nếu bạn đang vận hành phòng sạch loại 100, chắc hẳn bạn đã từng gặp phải tình trạng khó chịu do sự xuất hiện của các hạt bụi hoặc chất khí không mong muốn. Điều này thường xảy ra trong giai đoạn sấy khô. Hầu hết các loại bộ sưởi thông thường đều không phù hợp để sử dụng trong mục đích này – chúng có xu hướng tạo ra các hạt vi mô hoặc giải phóng các chất hữu cơ bay hơi ngay khi được làm nóng.
Đó là lý do tại sao chúng tôi chọn sử dụng các bóng đèn IR làm từ thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao.
Tại sao lại chọn thạch anh?
Đó là do tính chất của vật liệu. Chúng tôi sử dụng silic nung chảy với hàm lượng tạp chất gần bằng không. Nhờ đó, bạn không cần lo lắng về việc kim loại gây ô nhiễm các cảm biến MEMS của mình. Khác với các loại bộ sưởi được bọc kim loại, các ống thạch anh này hoạt động như một rào cản không phản ứng hóa học. Bức xạ IR đi thẳng qua lớp chất lỏng trên bề mặt wafer, giúp sấy khô nhanh chóng mà không cần tiếp xúc trực tiếp với bề mặt wafer. Không tiếp xúc nghĩa là không có nguy cơ xảy ra vết xước hay sự nhiễm bẩn. Rất đơn giản.
Điều chỉnh nhiệt độ một cách chính xác
Để quá trình sấy khô diễn ra nhanh chóng, chúng tôi sử dụng bức xạ IR bước sóng ngắn. Mục tiêu là đưa năng lượng trực tiếp vào bề mặt wafer, thay vì lãng phí năng lượng vào việc làm nóng toàn bộ không khí trong buồng sấy.
Nhưng có một điểm cần lưu ý: bạn cần chú ý đến mật độ năng lượng. Các bóng đèn này có thể tăng cường công suất trong vài giây, điều này rất tốt. Tuy nhiên, cường độ năng lượng cao có thể gây ra áp lực nhiệt nếu wafer không được đặt ở vị trí chính xác. Tôi luôn khuyên nên sử dụng bộ điều khiển PID chính xác. Điều này giúp duy trì nhiệt độ ổn định và ngăn chặn việc xuất hiện các điểm nóng gây hư hại cho cấu trúc MEMS.
Lắp đặt chúng vào hệ thống sản xuất của bạn
Chúng tôi thiết kế chúng sao cho chúng có thể thay thế dễ dàng cho các thiết bị hiện có. Chúng tôi loại bỏ hết các chất kết dính không cần thiết và sử dụng vật liệu gốm chịu nhiệt cao để làm vật đỡ. Nhờ đó, không có gì có thể rơi vào dây chuyền sản xuất của bạn.
Tuy nhiên, vẫn còn một điểm cần lưu ý: Thạch anh có độ tinh khiết cao nhưng lại rất giòn. Nhân viên của bạn cần phải cẩn thận khi thao tác với chúng. Họ cần phải sử dụng găng tay không chứa bụi – mỗi lần thao tác. Ngay cả một dấu vân tay cũng có thể để lại dấu vết dầu mỡ trên bề mặt thạch anh, khiến nó bị hư hại sau khi được làm nóng. Kết quả là sẽ xuất hiện những “vết đen” vĩnh viễn, và việc phân bố nhiệt cũng sẽ bị rối loạn.