Hören Sie auf, Energie bei der Trocknung der Wafer zu verschwenden!
Seien wir ehrlich: Die meisten Trocknungsstufen in den Waferfabriken sind im Grunde genommen teure Heizgeräte. Man verwendet enorme Mengen an Energie – doch ein großer Teil dieser Energie geht einfach verloren, indem sie an den Wänden abprallt oder ins Gehäuse entweicht. Das ist eine Verschwendung von Energie – und außerdem frustrierend.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden. Anstatt diese Energie einfach verschwenden zu lassen, verwenden wir reflektierende Elemente, die mit Gold überzogen sind. Dadurch wird die Energie genau dorthin gelenkt, wo sie benötigt wird – direkt auf die Wafer.
Der Trick liegt im Gold.
Herkömmliche Infrarotlampen geben Wärme in alle Richtungen ab. Doch Gold ist hervorragend darin, langwellige sowie mittelwellige Infrarotstrahlen zu reflektieren. Durch das Beschichten der Reflektoren mit hochreinem Gold kann die Energie wieder zurück zum Produkt geleitet werden.
Das Ergebnis? Die Trocknungszeit bleibt gleich – doch man muss nicht für Energie bezahlen, die die Wafer eigentlich gar nicht erreicht.
Es geht um die Geometrie.
Wir legen das Gold nicht einfach auf ein Stück Metall. Stattdessen richten wir den Fokuspunkt der Parabel perfekt auf die Waferfläche aus. Dadurch entsteht eine konzentrierte „heiße Zone“. Da die Wärme so gezielt eingesetzt wird, kann man die Leistung der Lampe verringern – trotzdem erhält man die erforderliche Oberflächentemperatur zur Verdunstung des Wassers.
Eine wichtige Hinweis: Achten Sie auf Ihre Kühlkreise. Wenn so viel Energie in einem kleinen Bereich konzentriert wird, spürt das Lampengehäuse dies. Wenn die Luftzufuhr nicht richtig eingestellt ist, können die Steckdosen beschädigt oder die Lampenende abgebrannt werden. Es handelt sich dabei um eine kleine Anpassung – doch sie hat großen Einfluss auf die Lebensdauer Ihrer Geräte.
Was das für die Fertigung bedeutet:
Ihre Energieauswertungen werden viel besser aussehen. Es handelt sich dabei um eine einfache Möglichkeit, Kosten pro Wafer zu senken.
Und das Beste daran: Es handelt sich dabei um Ersatzteile, die direkt eingesetzt werden können. Man muss keine ganzen Stromnetze aufrüsten oder ein Wochenende damit verbringen, die gesamte Anlage umzubauen. Man tauscht einfach die Reflektoren aus – und schon kann man Geld sparen.