Wie man die MEMS-Wafer während des Trocknungsprozesses sauber hält
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie sicherlich das Problem von Ausgasungen oder dem Auftreten von Partikeln an Stellen, an denen sie nicht sein sollten. Das passiert meist während der Trocknungsphase. Die meisten herkömmlichen Heizgeräte eignen sich nicht dafür – sie geben mikroskopisch kleine Partikel ab oder lassen flüchtige organische Verbindungen entweichen, sobald sie erhitzt werden.
Deshalb verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz-IR-Lampen.
Warum Quarz?
Es geht dabei um das Material selbst. Wir nutzen geschmolzenes Silizium mit nahezu keinerlei Verunreinigungen. Dadurch müssen Sie sich keine Sorgen machen, dass metallische Verunreinigungen Ihre MEMS-Sensoren beschädigen könnten. Im Gegensatz zu den heizenden Geräten mit Metallgehäusen fungieren diese Quarztuben als reaktionsfreie Barriere. Die Infrarotstrahlung dringt direkt durch die Flüssigkeitsschicht auf der Waferoberfläche und trocknet sie schnell – ohne die Oberfläche berühren zu müssen. Kein Kontakt bedeutet keine Kratzer und keine Kreuzkontamination. Einfach.
Die richtige Hitze erreichen
Um den Trocknungsprozess zu beschleunigen, nutzen wir kurzwelliges Infrarotlicht. Ziel ist es, die Energie direkt auf die Waferoberfläche zu lenken, anstatt sie damit zu verschwenden, die Luft im Raum zu erwärmen. Doch man muss vorsichtig mit der Leistungsstärke sein. Diese Lampen erreichen ihre volle Leistung in Sekundenschnelle – das ist gut. Doch diese Intensität kann zu thermischem Stress führen, wenn die Wafer nicht perfekt zentriert sind. Ich empfehle immer den Einsatz eines präzisen PID-Reglers. So bleibt alles stabil und es entstehen keine „heißen Punkte“, die die MEMS-Strukturen beschädigen könnten.
Einbau in Ihre Produktionsanlage
Wir haben diese Lampen so konzipiert, dass sie problemlos in Ihre bestehende Anlage eingebaut werden können. Wir haben alle unnötigen Klebstoffe entfernt und stattdessen Hochtemperaturkeramiken für die Halterungen verwendet. So fällt nichts in Ihre Produktionsanlage.
Allerdings gibt es einen Haken: Hochreiner Quarz ist zwar chemisch inerten, doch er ist auch brüchig. Ihr Personal muss daher vorsichtig vorgehen. Stellen Sie sicher, dass sie jedes Mal fingerlose Handschuhe tragen. Schon eine einzige Fingerabdruck hinterlässt Ölrückstände, die im erhitzten Zustand in den Quarz eindringen. Dadurch entstehen dauerhafte „dunkle Flecken“ – und die Wärmeverteilung wird ungleichmäßig.