Reduzierung des Kohlenstoffausstoßes bei der Heizung von Halbleitern
Seien wir ehrlich: Die Herstellung von Halbleitern ist äußerst energieintensiv. Die meisten alten Heizmethoden sind einfach nur verschwenderisch – sie heizen alles auf, also die Luft, den Raum und die Wände, nur um die Wafer auf die richtige Temperatur zu bringen. Das ist langsam, teuer und eine Qual für alle, die versuchen, klimaneutrale Ziele zu erreichen.
Das Geheimnis liegt im Gehäuse
Die meisten Menschen sehen in dem Gehäuse nur einen Metallrahmen. Ich sehe darin jedoch ein „Spiegel“. Wir fertigen diese Gehäuse aus hochwertigem Edelstahl an. Warum? Weil die Teile während der Verarbeitung der Wafer extrem heiß werden – man darf nicht zulassen, dass das Metall oxidiert oder abblättert. Doch das eigentliche „Wunder“ geschieht durch die Polierung. Wir polieren die Innenflächen bis zu einem spiegelglatten Zustand, sodass die Infrarotstrahlen direkt auf das Ziel gerichtet werden.
Anstatt dass die Wärme in den Reinraum entweicht, wird sie genau dorthin geleitet, wo sie benötigt wird. Die Wafer erhalten die nötige Wärme, und das Lüftungssystem muss nicht übermäßig arbeiten, um den Raum wieder abzukühlen.
Warum Edelstahl?
Man fragt sich vielleicht, warum wir nicht einfach Aluminium verwenden. Es ist zwar leichter – doch Aluminium neigt unter extremen Temperaturen dazu, sich zu verformen. Sobald sich das Gehäuse verformt, verlieren die Infrarotlampen ihre Präzision. Plötzlich wird das Ziel nicht mehr erreicht. Edelstahl hingegen bleibt stabil. Ja, es ist schwerer – man braucht daher ein stabileres Gehäuse. Doch die Energieeinsparung durch den Verzicht auf unnötige Wärmeverluste überwiegt diesen kleinen Nachteil bei weitem.
So wird die „grüne Fabrik“ tatsächlich funktionieren
Der große Vorteil hier ist einfach: Wir heizen nur den jeweiligen Teil, nicht den ganzen Raum. Dadurch wird der Kohlenstoffausstoß erheblich reduziert.
Außerdem haben wir auch an die Menschen gedacht, die diese Maschinen bedienen. Es gibt nichts Schlimmeres, als wenn eine Lampe ausfällt und man Stunden damit verbringen muss, den Schutzschirm neu einzustellen. Wir haben diese Gehäuse so gestaltet, dass sie schnell ausgetauscht werden können. Wenn eine Lampe ausfällt, kann man sie einfach herausnehmen, eine neue einsetzen – und schon kann man weiterarbeiten. So bleiben die Maschinen in Betrieb, und es wird keine Energie verschwendet, während das System während einer Reparatur stillsteht. Es ist einfach klüger.