Sınıf 100 temiz oda koşullarında çalışırken “neredeyse temiz” olmak yeterli değildir. Isıtıcı elemanlardan çıkan küçücük parçacıklar bile tüm waferleri işe yaramaz hale getirebilir. Bu gerçekten korkunç bir durum.
İşte bu yüzden kızılötesi lambalarımızda standart cam kullanmayı bıraktık. Standart camda, ısıya dayanamayan safsızlıklar bulunur; bunlar bozulup sorunlara neden olur. Bunun yerine yüksek saflıkta sentetik kuvars kullandık. Böylece lambalar daha stabil ve temiz kalır.
Artık gizemli gazlar yok
Çoğu kızılötesi lambada, ısındıkları anda gaz salmaya başlayan bağlayıcılar veya kaplamalar vardır. Biz bu tür maddeleri tamamen ortadan kaldırdık. Yüksek saflıkta kuvars kullandığımız için yüzey inert kalır. Waferlerin üzerine rastgele kimyasalların bulaşmasından endişelenmenize gerek yok. Ayrıca, mühürleme işlemine de büyük önem veriyoruz. Tungsten filamanları herhangi bir oksijen izinden uzak tutuyoruz ki tüpler bulanmasın. Eğer tüp berrak kalırsa, kızılötesi verimliliği de yüksek kalır. Bu kadar basit.
Isının doğru yere gitmesi
Bu lambalar çok hızlı ısınır. Gerçekten çok hızlı. Kısa dalga boyundaki kızılötesi ışınımına odaklandık; çünkü ısının sadece çevresindeki havayı ısıtmasını değil, waferin kendisine ulaşmasını istiyoruz. Bu sayede sıcaklık kontrolünü daha hassas bir şekilde yapabilirsiniz.
Ancak dikkat: Bu tür ısı yoğunluğu oldukça yüksektir. Montaj braketlerinizi kontrol edin. Eğer chasisiniz, kuvarsın ısındığında genleşmesine dayanacak şekilde yapılmamışsa, lambanın uçlarına aşırı yük binebilir.
Montajı
Bunları yerine kolayca takılabilen lambalar olarak tasarladık. Tozun saklanabileceği hiçbir yer yok. Ayrıca, üretim kalitesi çok yüksek olduğu için kuvarsın kahverengileşmesi gibi sorunlar neredeyse hiç yaşanmaz. En iyi yanı ise lambaları sık sık değiştirmenize gerek kalmamasıdır; bu da temiz oda koşullarının bozulmamasını sağlar.
Son olarak: Güç kaynağınıza dikkat edin. Stabil olduğundan emin olun. Birkaç voltaj dalgalanması bile filamentin çok daha hızlı bozulmasına neden olabilir.