Lithografi Katında
Fotoresist pişirme, bir tercih meselesi değil—verim elde etmek ile atıkların birikmesini izlemek arasında bir çizgi. Yumuşak pişirme sırasında 2°C’lik bir kayma, wafer üzerinde CD varyasyonunu yaymak için yeterlidir. Ve eğer sert pişirme tutarlı değilse, istenmeyen kalıntılar, zayıf yapışma ve stripper’a alay eden kalıntı film istemiş olursunuz. Kaplama/geliştirici IR ısıtıcısının, her döngüde tekrarlanabilir termal davranış sunması gerekir; bu, parçacıkları akışa bırakmadan veya işlem penceresini daraltmadan olmalıdır.
Gerçekte Neler Önemli Kaplama/geliştirici IR ısıtıcısını, kapalı döngü kontrolü ile doğrudan bağlı kısa dalga kızılötesi (NIR) vericileri etrafında inşa ettik. Kazanım, pişirme plakasında ±0,1°C’lik bir wafer seviyesinde uniformite sağlamaktır; böylece fotoresist, kenardan kenara aynı termal bütçeyi alır. Tepki süresi alt bir saniyedir, bu da rampa oranını ve bekletme süresini sıkı tutmanıza olanak tanır. Düşük gaz salınımı montajı ve uzun üretim süreleri boyunca parçacık sayısını düz tutan sıfır parçacıklı mimari sayesinde, temiz oda Sınıf 1-100 ile uyumludur. Isıtıcı, standart kaplama/geliştirici platformlarına entegre edilir ve 24/7 çalışmaya uygun olarak tasarlanmıştır; pişirme döngüleri boyunca kararlı bir çıkış sunar.
Neden Bu Kaplama/Geliştirici Araçlarında Önemli Termal tekrarlanabilirlik, birçok parametreyi aynı anda hizalayan bir kaldıraçtır. Sıkı sıcaklık kontrolü, yumuşak pişirme sırasında fotoresist akışını ve solvent çıkarımını iyileştirir ve sert pişirme sırasında kararlı bir çapraz bağ durumu oluşturur. Bu, daha sıkı CD kontrolü, daha az yeniden işleme partisi ve daha az atık olarak kendini gösterir. Ayrıca enerji tasarrufu sağlarsınız çünkü ısıtıcı, ayar noktasına hızlı ulaşır ve aşım olmadan bunu korur. Güvenilirlik, çalışma süresi olarak kendini gösterir—daha az plansız duraklama, pişirme plakası kaymasına bağlı daha az PM çağrısı ve sarf malzemesi değişiminde daha uzun aralıklar.
Öncelikle Doğru Yapmanız Gerekenler Kurulum, aracın mekanik kapsama alanı ve kontrol arayüzü ile eşleşmeye dayanır—bağlantı tipi, montaj toleransları ve mevcut gücü iki kez kontrol edin. NIR sistemleri hızlı ve uniformdur, ancak verici penceresini temiz tutun; herhangi bir film birikimi, ayar noktasını kaydırır ve uniformiteyi azaltır. Temiz oda protokolüne göre rutin muayene ve kontrollü temizlik yapın. Isıtıcıyı tam pişirme profiline ve direnç tipine uyarlayın—maksimum güç yoğunluğu her profil için doğru seçim değildir. Entegrasyon doğru olduğunda, karmaşıklığı artırmadan daha geniş bir işlem penceresi elde edersiniz.