หยุดการใช้ความร้อนในการทำให้อากาศแห้ง: วิธีที่ดีกว่าในการทำให้สารกึ่งตัวนำแห้ง เมื่อผลิตสารกึ่งตัวนำ การกำจัดความชื้นถือเป็นสิ่งสำคัญมาก แต่ในอดีต...

บนพื้นที่ผลิต การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิครึ่งองศาในระหว่างการอบ photoresist ก็เพียงพอที่จะทำให้ความกว้างของเส้นลายคลาดเคลื่อนและเริ่มเกิดผลผลิตเสีย...