บนเครื่องจักรนั้น แผ่น SiC ก็แค่นั่งอยู่ตรงนั้น รอให้มีการอบด้วยสารโฟโตรีซิสต์ เพื่อให้รูปแบบต่างๆ ถูกกำหนดไว้อย่างชัดเจน...

บนพื้นที่ผลิต การประมวลผลโฟโตเรซิสต์ไม่ให้อภัยต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิแบบไดนามิก การกระจายความร้อน 0.5°C บนเวเฟอร์ในระหว่างการอบแบบ soft bake หรือ...