บนเครื่องจักรนั้น แผ่น SiC ก็แค่นั่งอยู่ตรงนั้น รอให้มีการอบด้วยสารโฟโตรีซิสต์ เพื่อให้รูปแบบต่างๆ ถูกกำหนดไว้อย่างชัดเจน แม้ว่าอุณหภูมิจะเปลี่ยนแปลงเพียงเล็กน้อยเท่านั้น ก็สามารถทำให้การควบคุมขนาดของแผ่น Wafer เปลี่ยนไปได้ ซึ่งจะส่งผลให้คุณภาพของแผ่น Wafer ลดลงก่อนที่เครื่องจะสามารถตรวจจับได้เลย
สิ่งที่สำคัญจริงๆ คืออะไร? เราใช้หลอดไฟฮาโลเจนแบบคลื่นสั้นในซองควอตซ์ เพื่อให้เกิดการถ่ายเทความร้อนอย่างรวดเร็ว และทำให้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนแผ่น Wafer อยู่ในระดับที่ดี เราสามารถควบคุมความสม่ำเสมอของอุณหภูมิได้ที่ ±0.1°C ดังนั้นกระบวนการอบจึงมีความสม่ำเสมอในทุกครั้งที่ทำการอบ
อุปกรณ์นี้ถูกออกแบบมาให้เหมาะสำหรับการใช้งานในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย และมีระบบที่ช่วยลดการเกิดอนุภาคที่อาจทำให้เกิดการปนเปื้อนบนแผ่น Wafer การจ่ายพลังงานก็มีความสม่ำเสมอ และหลอดไฟก็สามารถรักษาความเสถียรของกำลังไฟได้ตลอดเวลา มีหน่วยที่สามารถทำงานได้มากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงของกำลังไฟน้อยกว่า 5%
ทำไมสิ่งนี้ถึงสำคัญสำหรับการประมวลผล SiC? การประมวลผลแผ่น SiC ไม่สามารถให้อภัยความผิดพลาดด้านการควบคุมอุณหภูมิได้เลย หลอดไฟนี้ช่วยให้กระบวนการอบมีความสม่ำเสมอ ทำให้การไหลของสารโฟโตรีซิสต์ การยึดเกาะ และการเชื่อมต่อของสารโฟโตรีซิสต์เป็นไปตามที่ควรจะเป็น ดังนั้นความผิดพลาดในการกำหนดขนาดของแผ่น Wafer ก็จะลดลง
การเพิ่มอุณหภูมิทำได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่ทำให้กระบวนการกลายเป็นเรื่องที่เสี่ยงเกินไป และการทำงานในสภาพแวดล้อมที่สะอาดก็ช่วยลดการเกิดของเศษวัสดุที่อาจทำให้เกิดการปนเปื้อนบนแผ่น Wafer ดังนั้นคุณจึงได้กระบวนการที่สามารถคาดเดาได้ มีความผิดพลาดน้อย และมีความสม่ำเสมอของแผ่น Wafer ซึ่งเป็นสิ่งที่จำเป็นสำหรับการประมวลผลแผ่น Wafer
สิ่งที่อาจทำให้เกิดปัญหาได้ การติดตั้งนั้นต้องให้ขนาดของหลอดไฟและตัวเชื่อมต่อสอดคล้องกับอินเทอร์เฟซของเครื่องจักรของผู้ผลิต การปรับจูนตำแหน่งก็มีความสำคัญเช่นกัน หากไม่ปฏิบัติตามมาตรฐาน ก็จะทำให้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิลดลง
ความหนาแน่นของกำลังไฟสูงมาก ดังนั้นจึงต้องปฏิบัติตามคำแนะนำด้านการจัดการความร้อนและการป้องกันความร้อน หากไม่ทำเช่นนั้น ก็จะเกิดจุดร้อนขึ้นได้ นอกจากนี้ยังต้องมีการปรับเทียบอุณหภูมิตามช่วงเวลาที่กำหนด เพื่อให้อุณหภูมิอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด และกระบวนการก็จะอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนดเช่นกัน