บนพื้นที่ผลิต การอบฟิล์มโฟโตเรซิสต์ไม่ใช่เรื่องที่เลือกทำหรืิอไม่ทำ แต่เป็นงบประมาณความร้อนของคุณอย่างชัดเจน อุณหภูมิเพียงแกว่ง 1°C ก็สามารถทำให้ขนาดจำเพาะเปลี่ยนแปลงได้ และอนุภาคเพียงหนึ่งชิ้นจากโซนร้อนอาจทำให้แผ่นชิปดีดีหลายๆ แผ่นเสียหาย นั่นจึงเป็นเหตุผลที่เราพัฒนาหลอดอินฟราเรดพร้อมหน่วย air knife ที่ออกแบบโดยยึดข้อเท็จจริงเหล่านี้เป็นมาตรฐาน ไม่ใช่ข้อยกเว้น
สิ่งที่สำคัญภายใต้ระบบ
เราจับคู่เครื่องปล่อยแสงอินฟราเรดคลื่นสั้นกับ air knife ที่มีความเร็วลมสูง ตัวปล่อยแสงตอบสนองภายในเวลามิลลิวินาทีซึ่งช่วยให้ระบบควบคุมแบบวงปิดมีความแม่นยำ และทำให้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่ระดับแผ่นเวเฟอร์อยู่ที่ ±0.1°C ตลอดพื้นผิวการอบ Air knife จะส่งลมผ่านชั้นกั้นและกวาดล้างสิ่งสกปรกขนาดเล็กออก ขณะที่ทางออกไอเสียแยกส่วนทำให้อัตราอนุภาคคงที่ในสภาพแวดล้อม Class 1–100 ความหนาแน่นพลังงานสามารถปรับได้สำหรับแผ่นเวเฟอร์ขนาด 150 mm ถึง 300 mm และโปรไฟล์ความร้อนทำซ้ำได้อย่างต่อเนื่องในแต่ละล็อต กำลังขาออกคงที่ภายใน 2% ในระยะเวลามากกว่า 5,000 ชั่วโมง และหน่วยนี้ถูกออกแบบให้พอดีกับการเชื่อมต่อและขนาดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ทั่วไป
เหตุผลที่ระบบนี้เหมาะกับการลิโธกราฟี
ในกระบวนการลิโธกราฟี การอบแบบ soft bake มีเป้าหมายเพื่อดึงสารละลายออกและสร้างความเครียดในฟิล์ม ส่วน hard bake เป็นขั้นตอนที่ยึดติดฟิล์มก่อนการกัดกร่อนหรือการชุบหนา หน่วยนี้ช่วยรักษาเสถียรภาพทั้งสองขั้นตอน ทำให้ลดการแก้ไขงานซ้ำและเพิ่มอัตราการผลิตที่ได้จริง การเร่งความร้อนอย่างรวดเร็วช่วยลดเวลาการทำงาน และการควบคุมเวลาคงที่อย่างแม่นยำช่วยให้ใช้งบประมาณความร้อนภายในข้อกำหนดโดยไม่มีการเร่งพิกัดเกินความจำเป็น การใช้พลังงานลดลงเนื่องจากตัวปล่อยแสงให้ความร้อนตรงเป้าหมาย ไม่ใช่กรอบโดยรอบ และ air knife ช่วยรักษาความเย็นให้กับออปติกและห้องทำงาน ผลลัพธ์คือการควบคุมขนาดจำเพาะอย่างแม่นยำ ลดของเสีย และลดการหยุดงานโดยไม่คาดคิดในสายการผลิต
สิ่งที่ต้องระวังเมื่อทำการติดตั้ง
Air knife จะเพิ่มความเร็วลมในพื้นที่ใกล้เคียง จึงต้องกำหนดขนาดของทางระบายอากาศให้รักษาความดันลบไว้ในบริเวณหน้าต่างกระบวนการ มิฉะนั้นความปั่นป่วนของอากาศอาจทำให้อัตราอนุภาคเพิ่มขึ้น การติดตั้งทำได้ง่ายในแพลตฟอร์มเครื่องมือมาตรฐาน แต่ระบบท่อและกลยุทธ์ตัวกรองต้องเข้ากับรูปทรงของห้องและระดับความสะอาดของคลีนรูม เราจัดหาภาพวาดการเชื่อมต่อและสูตรการตรวจสอบให้ แต่คุณจะต้องประสานงานอย่างใกล้ชิดกับทีมรวมระบบเครื่องมือเพื่อผ่านการรับรองหน่วยและยืนยันโปรไฟล์ความร้อนที่เหมาะสมต่อไป