บนพื้นที่ผลิต การอบโฟโตรีซิสต์ไม่ใช่ตัวเลือก—แต่เป็นงบประมาณความร้อน หากปล่อยให้การอบแบบ soft bake หรือ hard bake ผันผวนแม้เพียงเศษเสี้ยวขององศา มิติสำคัญจะผิดเพี้ยนทันที คุณจะเห็นผลลัพธ์ได้ทันทีบน CD-SEM เราออกแบบหลอดไฟให้ความร้อนในเรือควอตซ์ของเราเพื่อลดความแปรปรวนนี้ให้น้อยที่สุด
สิ่งที่สำคัญในเชิงเทคนิค
หลอดไฟเหล่านี้ยิงรังสีอินฟราเรดคลื่นสั้นผ่านควอตซ์ความบริสุทธิ์สูงสู่ wafer ซึ่งทำให้ความร้อนตรง ปรับได้เร็ว และควบคุมอย่างแม่นยำ สเปคหลักคือความสม่ำเสมอบน wafer ที่ ±0.1°C ทั่วทั้งเรือ ซึ่งช่วยรักษาการระเหยสารละลายให้นิ่งและการไหลของโพลิเมอร์ให้คงที่
หลอดไฟทำงานในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 และรักษาสภาพโดยไม่มีการปล่อยอนุภาคเมื่อเข้าสู่สถานะคงที่ ความสามารถในการทำซ้ำของเอาต์พุตยังคงแน่นแม้ผ่านหลายพันรอบ สำหรับวิศวกรกระบวนการ นั่นหมายความว่าโปรไฟล์ความร้อนไม่ใช่ตัวแปรไม่แน่นอน—แต่เป็นพารามิเตอร์ที่ล็อกและวางใจได้
ทำไมจึงเหมาะสำหรับลิโธกราฟี
ในลิโธกราฟี ขั้นตอนการอบ คือการตั้งเงื่อนไขให้กับการวางตำแหน่งภาพซ้อนและความเลือกเจาะสาร การใช้หลอดไฟความร้อนควอตซ์ช่วยรักษาอุณหภูมิในเรือให้คงตัวในแต่ละรอบทำให้ soft bake และ hard bake อยู่ในสเปคเสมอ แม้จะมีการซ้อนล็อตสูง
ผลคือการลดโอกาสผิดพลาด ต้นทุนการเสียหายลดลง และอัตราผลผลิตตามสายการผลิตที่สามารถวางแผนได้ อัตราเร่งสูงและช่วงเวลารักษาอุณหภูมิสั้นช่วยลดการใช้พลังงาน และโปรไฟล์ความน่าเชื่อถือช่วยให้สายการผลิตเดินเครื่องต่อเนื่อง 24/7 โดยมีการหยุดชะงักที่ไม่คาดคิดน้อยลง
รายละเอียดเชิงปฏิบัติ
หลอดไฟสามารถติดตั้งได้อย่างเรียบร้อย แต่การจัดตำแหน่งให้ตรงกับรูปร่างของเรือควรแม่นยำ ใช้แหล่งจ่ายไฟที่เสถียรพร้อมขั้วต่อที่ตรงกัน—หากไม่เช่นนั้นจะควบคุมความสม่ำเสมอไม่ได้
แนะนำให้ทำรันทดสอบสั้น ๆ เพื่อปรับสูตรและตรวจสอบโปรไฟล์ความร้อนกับชั้นโฟโตรีซิสต์ที่ใช้ เมื่อเซ็ตค่าถูกต้องแล้ว กระบวนการจะทำซ้ำได้ และระยะเวลาซ่อมบำรุงจะยาวขึ้นเพราะหลอดไฟสามารถใช้งานได้ยาวนานระหว่างการเรียกซ่อม