บนพื้น lithography การอบ photoresist ไม่ใช่เรื่องที่ควรมีเพียงแค่เพื่อความสะดวก—มันคือเส้นแบ่งระหว่างการผลิตที่มีคุณภาพและการเห็นเศษวัสดุสะสมขึ้นกอง การเบี่ยงเบน 2°C ในระหว่างการอบนุ่มเพียงพอที่จะทำให้เกิดความแปรผันของ CD ทั่วทั้งเวเฟอร์ และหากการอบแข็งไม่สม่ำเสมอ คุณกำลังเสี่ยงต่อการเกิดฟิล์มที่ไม่พึงประสงค์ การยึดเกาะที่อ่อนแอ และฟิล์มตกค้างที่ทำให้สตริปเปอร์หัวเราะ การทำความร้อน IR ของเครื่องเคลือบ/พัฒนา ต้องสามารถให้พฤติกรรมทางความร้อนที่สามารถทำซ้ำได้ในทุกๆ รอบ โดยไม่ปล่อยอนุภาคเข้าสู่กระแสหรือทำให้ขอบเขตการผลิตแคบลง
สิ่งที่สำคัญภายใต้ผิว เราได้สร้างเครื่องทำความร้อน IR สำหรับเครื่องเคลือบ/พัฒนา โดยใช้ตัวปล่อยอินฟราเรดคลื่นสั้น (NIR)—การให้ความร้อนที่เชื่อมต่อโดยตรงพร้อมการควบคุมแบบปิดลูป ผลลัพธ์คือความสม่ำเสมอในระดับเวเฟอร์ภายใน ±0.1°C ทั่วทั้งแผ่นอบ ดังนั้น photoresist จะได้รับงบประมาณความร้อนที่เหมือนกันจากขอบถึงขอบ การตอบสนองใช้เวลาน้อยกว่า 1 วินาที ซึ่งช่วยให้คุณสามารถควบคุมอัตราการเพิ่มขึ้นและเวลาการแช่ได้อย่างแน่นหนา มันเข้ากันได้กับคลาสคลีนรูม 1–100 ขอบคุณต่อการประกอบที่มีการปล่อยก๊าซต่ำและสถาปัตยกรรมที่ไม่มีอนุภาคที่รักษาจำนวนอนุภาคให้คงที่แม้ในระหว่างการผลิตที่ยาวนาน เครื่องทำความร้อนสามารถติดตั้งในแพลตฟอร์มเครื่องเคลือบ/พัฒนาแบบมาตรฐาน และออกแบบมาเพื่อการทำงานตลอด 24 ชั่วโมง 7 วัน โดยมีการผลิตที่เสถียรตลอดหลายพันรอบการอบ
เหตุใดสิ่งนี้จึงสำคัญในเครื่องมือเคลือบ/พัฒนา ความสามารถในการทำซ้ำทางความร้อนเป็นแรงเลื่อนที่จัดเรียงพารามิเตอร์หลายอย่างในเวลาเดียวกัน การควบคุมอุณหภูมิที่แน่นหนาช่วยปรับปรุงการไหลของ photoresist และการกำจัดตัวทำละลายในระหว่างการอบนุ่ม และตั้งสถานะการข้ามพันธะที่เสถียรในระหว่างการอบแข็ง ซึ่งนำไปสู่การควบคุม CD ที่แน่นหนากว่า จำนวนล็อตที่ต้องทำซ้ำลดลง และเศษวัสดุที่น้อยลง นอกจากนี้ยังช่วยประหยัดพลังงานเนื่องจากเครื่องทำความร้อนสามารถถึงจุดตั้งค่าได้อย่างรวดเร็วและรักษาไว้โดยไม่เกิดการเกินพิกัด ความเชื่อถือได้แสดงออกมาในรูปแบบของเวลาทำงาน—การหยุดที่ไม่คาดคิดน้อยลง การเรียกบริการบำรุงรักษาน้อยลงที่เชื่อมโยงกับการเบี่ยงเบนของแผ่นอบ และช่วงเวลาระหว่างการเปลี่ยนแปลงวัสดุสิ้นเปลืองที่ยาวนานขึ้น
สิ่งที่คุณต้องทำให้ถูกต้องตั้งแต่เริ่มต้น การติดตั้งขึ้นอยู่กับการจับคู่กับขนาดทางกลของเครื่องมือและส่วนติดต่อการควบคุม—ตรวจสอบประเภทของตัวเชื่อมต่อ ความแม่นยำในการติดตั้ง และพลังงานที่มีอยู่ ระบบ NIR มีความเร็วและสม่ำเสมอ แต่ต้องรักษาหน้าต่างของตัวปล่อยให้สะอาด; การสะสมของฟิล์มใดๆ จะทำให้จุดตั้งค่าเปลี่ยนและทำให้ความสม่ำเสมอแย่ลง สร้างการตรวจสอบประจำและการทำความสะอาดที่ควบคุมตามมาตรฐานคลีนรูม จับคู่เครื่องทำความร้อนไปยังโปรไฟล์การอบและประเภทของ resist อย่างแม่นยำ—ความหนาแน่นพลังงานสูงสุดไม่ใช่ทางเลือกที่ถูกต้องสำหรับโปรไฟล์ทุกประเภท เมื่อการรวมระบบถูกต้อง คุณจะได้ขอบเขตการผลิตที่กว้างขึ้นโดยไม่เพิ่มความซับซ้อน