웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

실리콘 웨이퍼를 올바르게 가열하는 방법 실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 모든 와트가 중요합니다. 단순히 열을 높이는 것이 아니라, 에너지가 실제로 웨이퍼에 전달되도록 하는 것이 핵심입니다. 그렇지 않으면 에너지가 챔버의 벽만 따뜻하게 만들 뿐입니다. 이때 바로 금으로 코...