웨이퍼가 아닌 장비를 가열하는 것을 그만두세요.
대부분의 적외선 램프는 다소 문제가 있습니다. 이 램프들은 열을 모든 방향으로 방출합니다. 반도체 제조 장비 안에 이런 램프를 사용하면 엄청난 양의 에너지가 낭비됩니다.
그 열이 웨이퍼가 아닌 장비의 내부 벽에 부딪히게 되죠. 그 결과, 장비의 온도가 너무 높아져서 작업자가 화상을 입거나 건물 내의 온도 경보기가 작동할 수도 있습니다. 정말 짜증나는 일이며, 솔직히 말해 에너지 낭비입니다.
우리는 더 좋은 방법을 찾아냈습니다: 금으로 코팅된 방향성 램프입니다.
금의 효과
작동 원리는 간단합니다. 석영 커버의 뒷면에 얇은 금층을 코팅하는 것입니다. 금은 훌륭한 반사체이므로, 마치 거울처럼 열을 반사시킵니다.
그래서 에너지가 장비 내부로 들어가는 대신, 앞쪽으로 방출됩니다. 그 결과, 필요한 곳에 정확하게 열이 집중됩니다.
간단한 변화지만, 이로 인해 모든 것이 달라집니다. 장비의 내부 벽은 시원하게 유지되고, 물리적 법칙을 극복하기 위해 거대한 냉각 팬을 사용할 필요도 없습니다. 열이 쓸데없이 퍼지는 것을 막기만 하면 됩니다.
사용 방법
가장 좋은 점은 이 램프들이 그대로 교체할 수 있다는 것입니다. 기존의 일반적인 단파관을 사용하고 있다면, 그냥 교체하기만 하면 됩니다. 배선 및 전기적 구조도 그대로 유지됩니다.
하지만 주의해야 할 점은, 모든 에너지가 앞쪽으로 집중되기 때문에 초점 부분의 열 밀도가 매우 높아진다는 것입니다.
PID 제어 장치가 이러한 상황에 적합하게 설정되어 있지 않다면, 목표 온도를 초과할 수도 있습니다. 따라서 웨이퍼에 과열된 부분이 생기지 않도록 주의해야 합니다.
왜 중요한가?
“고온 벽” 문제를 해결하면 작업이 훨씬 수월해집니다. 작업자들도 더 안전해지고, 가열 챔버 근처에 있는 섬세한 전자 부품들도 손상되지 않습니다.
이렇게 하면 낭비되는 에너지를 줄일 수 있으며, 열도 정확한 위치에 전달됩니다.