Mengurangi Emisi Karbon di Ruang Bersih dengan Sinar Infra Merah
Jika Anda pernah berada di pabrik semikonduktor, Anda pasti tahu masalah yang timbul akibat penggunaan oven konvensional. Oven tersebut membutuhkan energi yang sangat besar untuk memanaskan udara di dalam ruangan, padahal wafer belum merasakan efek pemanasan tersebut sama sekali. Ini merupakan pemborosan energi.
Kami telah menemukan cara yang lebih baik. Alih-alih memanaskan udara, kami menggunakan penghangat berbasis sinar infra merah untuk memanaskan wafer atau substrat secara langsung. Ini merupakan perubahan sederhana, tetapi hal ini dapat mengurangi beban energi yang digunakan dan secara signifikan mengurangi jejak karbon pabrik tersebut.
Cara kerjanya
Bayangkan saja saat Anda berada di bawah sinar matahari pada hari yang dingin. Anda tidak perlu menunggu udara di sekitar Anda menjadi hangat; panasnya langsung terasa di kulit Anda. Penguap panas berbasis sinar infra merah bekerja sama seperti itu. Energi dialirkan langsung ke targetnya, sehingga penggunaan energi menjadi lebih sedikit. Energi yang lebih sedikit berarti emisi yang lebih sedikit pula.
Realitas di ruang bersih
Tentu saja, Anda tidak bisa begitu saja memasukkan lampu pemanas ke dalam ruang bersih. Emisi gas dan partikel debu merupakan masalah serius. Untuk menjaga kebersihan ruangan, segala sesuatu dilapisi dengan kuarsa berkualitas tinggi. Hal ini membantu menjauhkan kontaminan dari area proses produksi. Karena sistem ini biasanya digunakan untuk memproses substrat yang berukuran besar, maka sistem ini dioperasikan dengan tegangan tinggi agar panas yang dihasilkan tetap konsisten.
Salah satu tipsnya adalah memilih panjang gelombang yang tepat. Pilihan antara gelombang pendek, sedang, atau panjang bergantung pada jenis bahan yang digunakan. Gelombang inframerah pendek mampu menembus substrat lebih dalam, sehingga proses pemanasan berlangsung lebih cepat.
Kekurangan metode ini
Namun, sinar infra merah bukanlah solusi yang sempurna. Meskipun Anda dapat menghemat energi, lampu berdensitas tinggi ini menghasilkan panas yang cukup tinggi. Jika sistem pendinginan tidak memadai, suhu akan meningkat drastis. Sensor-sensor pun akan berfungsi tidak normal, sehingga situasi menjadi kacau.
Rahasianya terletak pada pembagian area. Kami membagi oven menjadi beberapa zona IR yang terpisah. Dengan cara ini, panas hanya dialirkan ke area yang benar-benar membutuhkannya. Inilah cara untuk menghemat energi secara efektif—dengan menggunakan energi hanya di tempat dan waktu yang diperlukan.