Lampu pemanas untuk proses pengolahan wafer SiC
Di dalam proses produksi, wafer SiC tersebut hanya berdiri diam di sana, menunggu proses pemanasan fotoresist agar polanya tetap stabil. Sedikit saja...
Pemanas pemrosesan wafer optik
Di lantai fab, pemrosesan photoresist tidak mentolerir pergeseran termal. Sebaran suhu panas/dingin sebesar 0,5°C di seluruh wafer selama soft bake...