Menghindari Kotoran pada Wafer saat Pemanas Bermasalah
Jika Anda bekerja dalam proses pembuatan karbon nanotube (CNT), Anda pasti tahu betapa pentingnya penggunaan lampu inframerah berintensitas tinggi untuk mencapai suhu yang diinginkan. Namun, masalahnya adalah: ketika pemanas tersebut digunakan dalam kondisi beban tinggi, tabung tersebut bisa pecah.
Ini merupakan situasi yang sangat buruk. Kaca tabung tersebut akan pecah, dan serpihan kaca serta zat kimia akan jatuh ke permukaan wafer silikon. Dengan demikian, hasil produksi pun hilang.
Mengapa tabung tersebut bisa rusak?
Biasanya, hal ini disebabkan oleh tekanan termal atau arus listrik yang berlebihan di bagian sambungan tabung tersebut. Untuk mencegah hal ini, kami menggunakan kuarsa sintetis berkualitas tinggi. Kuarsa jenis ini memiliki koefisien ekspansi termal yang rendah, sehingga dapat bertahan meski mengalami proses pemanasan dan pendinginan yang cepat tanpa mudah pecah.
Kami juga memperhatikan tegangan filamen dengan seksama. Jika filamen tersebut melengkung, maka akan terbentuk titik-titik panas. Titik-titik panas ini akan melemahkan dinding kaca, hingga akhirnya kaca tersebut pecah.
Mencegah Serpihan Kaca
Kami tidak hanya berharap kaca tersebut tetap utuh; kami juga berencana menghadapi kemungkinan bahwa kaca tersebut akan pecah. Kami menggunakan lapisan pelindung ganda untuk melindungi wafer. Pertama, ada lapisan pelindung yang mampu menahan serpihan kaca. Jika lampu di dalamnya pecah, lapisan pelindung ini akan menahan serpihan-serpihan tersebut agar tidak jatuh ke wafer. Selain itu, kami juga menggunakan penutup ujung lampu yang kuat, sehingga lampu tidak akan bergeser saat terjadi getaran.
Kompromi yang Harus Diterima
Faktanya, kita membutuhkan daya yang tinggi agar karbon nanotube dapat tumbuh dengan cepat. Namun, hal ini akan memberikan tekanan besar pada kuarsa. Kita tidak bisa terus-menerus menggunakan lampu tersebut dengan kapasitas 110%, karena hal tersebut akan merusak kuarsa. Untuk menjaga stabilitas, kita perlu mengatur aliran udara pendingin dengan baik. Jika ujung tabung tidak tetap dingin, perbedaan suhu akan menjadi terlalu besar, sehingga kaca tersebut akan pecah.
Pemanas yang kami gunakan dirancang untuk digunakan dalam array inframerah standar. Namun, nilai sebenarnya dari pemanas ini terletak pada lapisan pelindungnya. Lapisan inilah yang menjadi penghalang antara lampu yang rusak dan wafer yang hancur.