Obtenir une chaleur optimale dans votre usine de fabrication
Si vous avez déjà eu affaire au séchage des wafers, vous connaissez bien le problème lié aux déformations ou à une déposition chimique inégale. En général, cela est dû à un seul facteur : la chaleur n’est pas appliquée de manière uniforme sur la surface du wafer.
C’est pourquoi nous utilisons massivement des systèmes à rayonnement infrarouge à haute réflexivité. Au lieu de laisser la chaleur se disperser partout, ces réflecteurs permettent de diriger les rayonnements à courte longueur d’onde exactement là où c’est nécessaire. Dans une usine moderne, il ne s’agit pas simplement de miroirs ordinaires ; ce sont des éléments essentiels pour réduire les temps de traitement et éviter que les coûts énergétiques ne montent en flèche.
Où va vraiment l’énergie ?
Les lampes infrarouges traditionnelles émettent de l’énergie dans toutes les directions – 360 degrés. Sans réflecteur, vous chauffez donc uniquement le châssis de la machine, ce qui est un gaspillage total.
Nous concevons nos réflecteurs de manière à capter cette énergie et à la renvoyer directement sur le wafer. En concentrant ainsi la chaleur, on obtient une chaleur beaucoup plus intense sur la surface du wafer. Le mieux, c’est que vous n’avez pas besoin d’augmenter la puissance nécessaire pour obtenir les résultats souhaités. Cela permet de conserver un système efficace et compact.
Les matériaux utilisés
En fonction de votre budget et de vos besoins, nous utilisons généralement de l’aluminium recouvert d’or ou de l’aluminium de haute pureté. L’or est le standard de référence, car il gère mieux le spectre infrarouge que tout autre matériau. Mais cela coûte plus cher.
Le vrai problème, cependant, c’est l’oxydation. Il faut surveiller attentivement ces surfaces. Dès que le revêtement commence à se détériorer, la distribution de la chaleur devient inégale. On observe alors des “zones froides” sur les wafers, et c’est là que commencent les problèmes.
Un conseil : connectez vos systèmes à des contrôleurs numériques et surveillez la consommation d’énergie. Si vous constatez qu’il vous faut plus d’énergie pour maintenir la même température, votre réflecteur est probablement sale ou oxydé. Il est alors temps de le remplacer.
Les compromis à prendre en compte
Il y a un inconvénient : lorsque la chaleur est concentrée de cette manière, les choses deviennent très chaudes. Si vos systèmes de refroidissement ne sont pas suffisants, vous risquez de rencontrer des problèmes. Envoyer toute cette énergie dans la zone de séchage sans un flux d’air suffisant ou sans un bon dissipateur de chaleur, c’est une invitation au désastre. Vous finirez par surchauffer les électrodes de la lampe, ce qui entraînera son dysfonctionnement prématurément.
Il s’agit donc de trouver un équilibre. Si vous parvenez à régler correctement la charge thermique, tout fonctionnera correctement.